[发明专利]有机和无机混合气体快速定量分析质谱方法和仪器

权利要求书

1.一种有机和无机混合气体快速定量分析质谱方法，其特征在于，包括以下步骤:

S1、有机和无机混合气体通过沸点不同进行分离；

S2、低沸点气体通过“硬”离子源进行电离，高沸点气体通过“软”离子源进行电离；

S3、分别获取所述有机和无机混合气体和背景气体的组分含量数据，并刨除所述有机和无机混合气体中所述背景气体的组分含量数据。

2.一种有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，运用权利要求1所述方法的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，包括进样系统、样品处理系统、双离子源质谱仪系统和电控系统；所述进样系统包括样品气源、标准气源、第一三通阀、第一抽气泵和第一流量控制器；所述样品处理系统包括切换阀、第二抽气泵、氮气源、第二流量控制器、加热设备和制冷设备；所述双离子源质谱仪系统包括“硬”离子源、“软”离子源、质量分析器和电子倍增器；

所述样品气源和所述标准气源连接所述第一三通阀的两个入口端，所述第一三通阀出口端与所述第一抽气泵入口端相连，所述第一抽气泵出口端与所述第一流量控制器入口端相连；所述切换阀的接口分别连接所述第一流量控制器、所述第二抽气泵、所述第二流量控制器和制冷设备，所述氮气源输出端与所述第二流量控制器相连，所述第二流量控制器与所述切换阀之间连接的通道设置有所述加热设备；所述制冷设备连接所述双离子源质谱仪系统；所述电控系统连接所述第一三通阀、所述切换阀和所述双离子源质谱仪系统；

所述“硬”离子源与所述“软”离子源横向设置于所述六通阀输出的气体周围，所述质量分析器设置于所述“硬”离子源与所述“软”离子源气体流通末端，所述电子倍增器设置于所述质量分析器输出端。

3.根据权利要求2所述的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，所述切换阀选用两位切换阀，包括六通阀和十通阀。

4.根据权利要求2所述的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，所述切换阀接口连接部件还包括定量环、水蒸气吸附柱和第二三通阀。

5.根据权利要求2所述的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，当所述切换阀为六通阀时，所述六通阀的接口连接顺序从所述第一流量控制器输出端开始顺时针方向依次连接所述制冷设备、所述第二流量控制器、第一死堵、第二死堵和所述第二抽气泵。

6.根据权利要求2所述的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，当所述切换阀为十通阀时，所述十通阀各接口的连接顺序为从所述第一流量控制器输出端开始顺时针方向依次连接所述第二抽气泵输入端、定量环输出端、水蒸气吸附柱输入端、水蒸气吸附柱输出端、所述制冷设备、第二三通阀的第一输出端、死堵、所述第二三通阀的第二输出端和所述定量环输入端。

7.根据权利要求2所述的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，所述进样系统、所述样品处理系统和所述双离子源质谱仪系统内各设备端口之间通过气体管路密闭相连。

8.根据权利要求2所述的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，所述质量分析器主体为由两两等间距的四根平行杆组成的四级杆质量分析器。

9.根据权利要求2所述的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，所述“硬”离子源为电子轰击离子源，所述“软”离子源为真空紫外光离子源。

10.根据权利要求9所述的有机和无机混合气体快速定量分析质谱仪，其特征在于，所述电子轰击离子源与所述真空紫外光离子源的相对位置为：所述电子轰击离子源的电子发射中心轴方向与所述真空紫外光离子源的紫外光发射中心轴方向间夹角为45°至135°。