[发明专利]蒸镀掩模有效
| 申请号： | 201910940065.7 | 申请日： | 2016-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN110551973B | 公开（公告）日： | 2022-06-14 |
| 发明（设计）人： | 池永知加雄 | 申请（专利权）人： | 大日本印刷株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C25D1/08;H01L51/50;H05B33/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 庞东成;张志楠 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀掩模 | ||
1.一种蒸镀掩模，其是形成了从第1面延伸到位于蒸镀源侧的第2面的2个以上的贯通孔的蒸镀掩模，其中，
该蒸镀掩模具备以特定图案形成了上述贯通孔的金属层，
在将上述贯通孔中位于上述第1面上的部分称为第1开口部、将上述贯通孔中位于上述第2面上的部分称为第2开口部的情况下，在沿着上述蒸镀掩模的法线方向观察上述蒸镀掩模时，上述贯通孔按照上述第2开口部的轮廓包围上述第1开口部的轮廓的方式来构成，
上述金属层具有形成了上述第1开口部和凹陷部的第1金属层、以及层积于上述第1金属层且形成了上述第2开口部的第2金属层，
上述凹陷部的深度D为50～500nm的范围内，
上述第1金属层的厚度为0.5～5.0μm的范围内，
上述第1金属层的端部的厚度小于上述第1金属层中与上述第2金属层连接的部分的厚度，
上述第2金属层层积在上述第1金属层中的形成有上述凹陷部的部分之上。
2.如权利要求1所述的蒸镀掩模，其中，上述第1金属层的厚度从上述第1金属层中与上述第2金属层连接的部分朝向上述第1金属层的上述端部单调递减。
3.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其中，上述第1金属层向壁面的切面与上述蒸镀掩模的法线方向在上述第1金属层的上述端部所成的角度为30°以上。
4.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其中，上述第2金属层的厚度为3～25μm的范围内。
5.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其中，上述金属层为镀覆层。
6.一种蒸镀掩模，其是形成了从第1面延伸到位于蒸镀源侧的第2面的2个以上的贯通孔的蒸镀掩模，其中，
该蒸镀掩模具备以特定图案形成了上述贯通孔的金属层，
在将上述贯通孔中位于上述第1面上的部分称为第1开口部、将上述贯通孔中位于上述第2面上的部分称为第2开口部的情况下，在沿着上述蒸镀掩模的法线方向观察上述蒸镀掩模时，上述贯通孔按照上述第2开口部的轮廓包围上述第1开口部的轮廓的方式来构成，
上述金属层包含含有38～54质量％的镍的铁合金，
上述金属层具有形成了上述第1开口部和凹陷部的第1金属层、以及层积于上述第1金属层且形成了上述第2开口部的第2金属层，
上述凹陷部的深度D为50～500nm的范围内，
上述第1金属层的厚度为0.5～5.0μm的范围内，
上述第2金属层层积在上述第1金属层中的形成有上述凹陷部的部分之上。
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