[发明专利]一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置

说明书

本发明涉及晶体管式封装技术领域，尤其涉及一种二次元坐标系旋转补偿测量方法；包括：建立管座基础坐标系；以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以X轴边线和Y轴边线的焦点为原点；画出所述管座外圆和所述管座两个绝缘子圆；将两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；将所述管座基础坐标系圆心平移至所述管座圆心，将管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系；画出管座芯片光敏区域，根据坐标算法，得到光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置。根据光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对管座固晶位置进行调节。本发明实施例运用坐标系旋转补偿，最大程度保证TO产品芯片固晶的准确性。

技术领域

本发明涉及半导体激光器TO封装技术领域，尤其涉及一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置。

背景技术

半导体激光器TO具有体积小、重量轻、效率高、寿命长、易于调制及价格低廉等优点，在工业、医学和军事领域得到了广泛的应用，如材料加工、光纤通讯、激光测距、目标指示、激光制导、激光雷达、空间光通信等。随着半导体激光器TO在各个应用领域的不断发展，对半导体激光器TO产品芯片固精贴装精度要求越来越高。

目前TO封装固晶贴装的测量，一直都是以测量设备的机械坐标系为基准坐标系进行测量的；例如，在TO-CAN 46产品封装过程中，有2PIN、3PIN、4PIN……7PIN、8PIN等各种脚位的管座，封装过程中由于测量夹具的不匹配和管座的旋转，导致正常测量时精度不准确，在高速率产品中尤其明显(注：高速率产品对芯片光敏面要求偏心贴装，以满足产品在使用过程中回损度满足要求，保证信号传输的正常)。

产品因为TO管座微量旋转导致机械坐标系并不能准确的测量，这样会严重影响产品芯片贴装精度，最终导致产品性能无法满足要求。

发明内容

为克服现有技术的不足，本发明提供一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置，最大程度保证TO产品芯片固晶贴装的准确性。

一方面，本发明实施例一种二次元坐标系旋转补偿测量方法，包括以下步骤：

S1，建立管座基础坐标系；具体包括，以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以所述X轴边线和Y轴边线的交点为原点；

S2，通过影像测量画出所述管座外圆和所述管座两个绝缘子圆；具体包括，将所述两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；

S3，将所述管座基础坐标系的坐标原点平移至所述管座圆心，将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系；

S4，再次通过影像测量画出所述管座芯片光敏区域，根据所述旋转补偿后的坐标系的X轴和所述管座芯片光敏区域的圆心构造虚拟直角三角形，得到一个虚拟角度和所述管座芯片光敏区域相对于管座圆心的距离，根据直角三角形函数求得两条直角边距离，得到所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置。

S5，根据所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对所述管座固晶位置进行调节。

另一方面，本发明实施例一种二次元坐标系旋转补偿测量装置，包括：

测量模块，建立管座基础坐标系；具体包括，以夹具的X轴边线和Y轴边线画线，并以所述X轴边线和Y轴边线的交点为原点；通过影像测量画出所述管座外圆、管座两个绝缘子圆和管座芯片光敏区域；将所述两个绝缘子圆心连接起来构造拟合线；

计算模块，将所述管座基础坐标系的坐标原点平移至所述管座圆心，将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系；根据所述旋转补偿后的坐标系的X轴和所述管座芯片光敏区域的圆心构造虚拟直角三角形，得到一个虚拟角度和所述管座芯片光敏区域相对于管座圆心的距离，根据直角三角形函数求得两条直角边距离，得到所述光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置；