[发明专利]一种二次元坐标系旋转补偿测量方法及装置有效

专利信息
申请号: 201910937645.0 申请日: 2019-09-30
公开(公告)号: CN110690135B 公开(公告)日: 2022-02-01
发明(设计)人: 龚成文;温永阔;胡靖 申请(专利权)人: 武汉东飞凌科技有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 武汉河山金堂专利事务所(普通合伙) 42212 代理人: 胡清堂
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 一种 二次元 坐标系 旋转 补偿 测量方法 装置
【权利要求书】:

1.一种二次元坐标系旋转补偿测量方法,其特征在于,包括以下步骤:

S1,建立管座基础坐标系;具体包括,以夹具的X轴边线和Y轴边线画线,并以所述X轴边线和Y轴边线的交点为原点;

S2,通过影像测量画出所述管座的外圆和所述管座的两个绝缘子的圆;具体包括,将所述两个绝缘子的圆的圆心连接起来构造拟合线;

S3,将所述管座基础坐标系的坐标原点平移至所述管座的外圆的圆心,将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系;

S4,再次通过影像测量画出所述管座芯片光敏区域,根据所述旋转补偿后的坐标系的X轴和所述管座芯片光敏区域的圆心构造虚拟直角三角形,得到一个虚拟角度和所述管座芯片光敏区域相对于管座圆心的距离,根据直角三角形函数求得两条直角边距离,从而得到所述管座芯片光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系的坐标位置;

S5,根据所述管座芯片光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系的坐标位置对所述管座固晶位置进行调节。

2.一种二次元坐标系旋转补偿测量装置,其特征在于,包括:

测量模块(1),建立管座基础坐标系;具体包括,以夹具的X轴边线和Y轴边线画线,并以所述X轴边线和Y轴边线的交点为原点;通过影像测量画出所述管座的外圆、管座的两个绝缘子的圆和管座的芯片光敏区域;将所述两个绝缘子的圆的圆心连接起来构造拟合线;

计算模块(2),将所述管座基础坐标系的坐标原点平移至所述管座圆心,将所述管座基础坐标系按照拟合线的角度进行旋转并保存旋转补偿后的坐标系;根据所述旋转补偿后的坐标系的X轴和所述管座芯片光敏区域的圆心构造虚拟直角三角形,得到一个虚拟角度和所述管座芯片光敏区域相对于管座圆心的距离,根据直角三角形函数求得两条直角边距离,得到所述管座芯片光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系的坐标位置;

位置调整模块(3),根据所述管座芯片光敏区域相对于旋转补偿后的坐标系坐标位置对所述管座固晶位置进行调节。

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