[发明专利]一种光电转换率高的薄膜光伏电池及其制备工艺在审
| 申请号: | 201910931288.7 | 申请日: | 2019-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN110518079A | 公开(公告)日: | 2019-11-29 |
| 发明(设计)人: | 眭斌;张为苍;谢雄才;张文进;杨亮 | 申请(专利权)人: | 信利半导体有限公司 |
| 主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0445;H01L31/0468;H01L31/18 |
| 代理公司: | 44102 广州粤高专利商标代理有限公司 | 代理人: | 刘春风<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址: | 516600 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 前电极 光吸收层 透明基板 显示模组 薄膜光伏电池 光伏单元 透明 背电极 显示区 光电转换率 金属背电极 非显示区 弱光条件 制备工艺 转换效率 透明的 光源 吸收 | ||
本发明公开了一种光电转换率高的薄膜光伏电池及其制备工艺,其中薄膜光伏电池包括透明基板和设于所述透明基板上且朝向显示模组布置的光伏单元,设置在显示区的光伏单元包括设于所述透明基板上的透明前电极、设于所述透明前电极上的光吸收层以及设于所述光吸收层上的透明背电极;设置在非显示区的光伏单元包括设于所述透明基板上的透明前电极、设于所述透明前电极上的光吸收层以及设于所述光吸收层上的金属背电极。实施本发明,通过将对应显示模组的显示区的前电极和背电极均设置为透明的,可以在朝向显示模组的一侧和背向显示模组的一侧同时进行双向吸收各种光源,特别是在弱光条件下,提高薄膜光伏电池的转换效率。
技术领域
本发明涉及薄膜光伏电池技术领域,更具体地涉及一种光电转换率高的薄膜光伏电池及其制备工艺。
背景技术
随着人们对能源的需求越来越高及薄膜光伏电池技术的不断发展,将薄膜光伏电池应用在显示模组(例如可穿戴电子产品)上,利用光转换电的原理给显示模组供电的技术得到越来越广泛的应用。
通常薄膜光伏电池包括依次层叠设置的基板、前电极、光伏层和背电极,薄膜光伏电池覆盖在显示模组上且薄膜光伏电池的背电极一侧朝向显示模组设置。显示模组包括中间显示区和围绕显示区的非显示区,所述薄膜光伏电池通常设置在非显示区并覆盖所述非显示区以提高光电转换效率,为了进一步提高光电转换效率,所述显示模组的显示区也可以设置栅格线的形式设置薄膜光伏电池使显示区形成半透明状,然而当利用非透明金属做背电极时,显示区的走线区域为非透明区域,只能在薄膜光伏电池的前电极一侧单侧吸光,且显示模组的光线不能透过背电极,容易与显示屏产生干涉条纹。
发明内容
为了解决所述现有技术的不足,本发明提供了一种光电转换率高的薄膜光伏电池及其制备工艺,通过将对应显示模组的显示区的前电极和背电极均设置为透明的,可以在朝向显示模组的一侧和背向显示模组的一侧同时进行双向吸收各种光源(即朝向显示模组的一侧吸收显示模组发出的光,背向显示模组的一侧吸收自然光或者其它光源),特别是在弱光条件下,提高薄膜光伏电池的转换效率。
本发明所要达到的技术效果通过以下方案实现:一种光电转换率高的薄膜光伏电池,用于设置在显示模组的显示面一侧为显示模组提供光电转换的电源,其中显示模组包括中间显示区和环绕显示区设置的非显示区,所述薄膜光伏电池包括透明基板和设于所述透明基板上且朝向显示模组布置的光伏单元,设置在显示区的光伏单元包括设于所述透明基板上的透明前电极、设于所述透明前电极上的光吸收层以及设于所述光吸收层上的透明背电极;设置在非显示区的光伏单元包括设于所述透明基板上的透明前电极、设于所述透明前电极上的光吸收层以及设于所述光吸收层上的金属背电极。
优选地,所述金属背电极包括透明背电极和设置在透明背电极上的金属层。
优选地,所述非显示区的光伏单元还包括透明绝缘层,所述透明绝缘层至少形成在透明背电极的边缘与金属层的边缘之间。
优选地,所述透明背电极的厚度在50nm-1000nm之间。
优选地,所述光伏单元还设有金属辅助电极,所述金属辅助电极与透明前电极接触连接,且所述金属辅助电极与金属背电极通过透明绝缘层隔开设置。
一种上述所述的光电转换率高的薄膜光伏电池的制备工艺,其特征在于,包括以下步骤:
步骤S1:提供一透明基板,将透明基板朝向显示模组的一侧进行显示区和非显示区的透明前电极成膜;
步骤S2:在所述透明前电极上进行显示区和非显示区的光吸收层化学气相沉积成膜;
步骤S3:在所述光吸收层上进行显示区和非显示区的透明背电极成膜;
步骤S4:清洗后依次对透明背电极、光吸收层、透明前电极进行成像刻蚀;
步骤S5:对透明绝缘层进行涂胶,曝光显影出图形;
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