[发明专利]一种新型水平化学沉铜用离子钯活化液在审
| 申请号： | 201910926589.0 | 申请日： | 2019-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN110484900A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 丁先峰;余显超;马骏 | 申请（专利权）人： | 广州皓悦新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C18/40 | 分类号： | C23C18/40;C23C18/30;C23C18/18 |
| 代理公司： | 44387 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 曾凤云<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 510700 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子钯活化液 活化添加剂 酸碱调节剂 硫酸钯 滚轮 吸附 沉积 硫酸 背光 化学沉铜 同等条件 新型水平 过滤袋 活化槽 活化液 颗粒数 槽壁 孔壁 细化 保养 清洗 整洁 表现 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型水平化学沉铜用离子钯活化液，其特征在于，包括纯水、活化添加剂、硫酸钯、硫酸和酸碱调节剂，其中，
纯水850-950份，活化添加剂20-75份，硫酸钯20-30份，硫酸3-3.5份，酸碱调节剂调节活化液pH至8.5-10。
2.一种新型水平化学沉铜用离子钯活化液，其特征在于，包括纯水、活化添加剂、硫酸钯、硫酸和酸碱调节剂，其中，
纯水900份，活化添加剂50份，硫酸钯24.6份，硫酸3.2份，酸碱调节剂调节活化液pH至8.5-10。
3.根据权利要求1或2所述的一种新型水平化学沉铜用离子钯活化液，其特征在于，所述活化添加剂为吡啶螯合物-二氨基吡啶。
4.根据权利要求1或2所述的一种新型水平化学沉铜用离子钯活化液，其特征在于，所述酸碱调节剂为珠碱。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C18-00 通过液态化合物分解抑或覆层形成化合物溶液分解、且覆层中不留存表面材料反应产物的化学镀覆
C23C18-02 .热分解法
C23C18-14 .辐射分解法，例如光分解、粒子辐射
C23C18-16 .还原法或置换法，例如无电流镀
C23C18-54 .接触镀，即无电流化学镀
C23C18-18 ..待镀材料的预处理
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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