[发明专利]一种阵列基板及其制备方法

说明书

本发明提供一种阵列基板及其制备方法，所述阵列基板包括基板、栅极层、第一绝缘层、栅极追踪层以及第二绝缘层；所述阵列基板的制备方法包括基板设置步骤、栅极层制备步骤、第一绝缘层制备步骤、栅极追踪层制备步骤以及第二绝缘层制备步骤；本发明提供一种阵列基板及其制备方法，栅极追踪层的一端通过一通孔直接连接至栅极层，另一端连接至非显示区的IC电路，其中，栅极追踪层设于显示区内，减少非显示区的走线空间，使得显示面板实现窄边框的效果，另外，栅极追踪层与栅极层接触时，可以降低所述栅极追踪层与所述栅极层之间的接触电阻，且阵列基板的制备工艺简单。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种阵列基板及其制备方法。

背景技术

目前，窄边框甚至无边框屏成为当期市场小尺寸手机的主流方向，为了尽可能的增大屏占比，实现手机屏的窄边框甚至无边框化，需要将左右边沿以及上下边沿区域尽可能缩小。

GOA技术(Gate Driver on Array)即阵列基板行驱动技术，是运用液晶显示面板的原有阵列制程将水平扫描线的驱动电路制作在显示区周围的基板上，使之能替代外接集成电路板(Integrated Circuit，IC)来完成水平扫描线的驱动。GOA技术能减少外接IC的焊接(bonding)工序，有机会提升产能并降低产品成本。

现有技术中，为了制作窄边框或无边框的显示产品，通常是通过压缩GOA电路的空间以实现显示区域左右两边的窄边框化，然而，该做法对GOA电路的性能以及液晶显示面板整体的抗静电能力造成不利影响。

现有技术中，提出了一种TGP(tracking gate line in pixel)显示面板，该显示面板主要是由一阵列基板、一彩膜基板以及一夹于阵列基板与彩膜基板之间的液晶层所构成，其中阵列基板可分为显示区(display region)与非显示区(non-display region)，其中在显示区上配置有以阵列排列的多个像素单元，而每一像素单元包括薄膜晶体管以及与薄膜晶体管连接的像素电极(pixel electrode)。

现有技术中，阵列基板依次包括基板、栅极层、第一绝缘层、栅极追踪层以及第二绝缘层，其中，栅极追踪层设于非显示区内。阵列基板的制备方法包括如下步骤，在一基板上制备一栅极层；在所述栅极层上表面制备一第一绝缘层；在所述第一绝缘层上表面沉积金属材料，形成一栅极追踪层；在所述栅极追踪层上表面涂覆光阻溶液，形成光阻层；采用掩膜板对所述光阻层进行曝光、显影处理后，形成图案化的所述光阻层；对所述基板进行刻蚀处理，使得图案化的所述光阻层与所述第一绝缘层在同一位置被刻蚀，形成通孔，达到所述栅极层暴露的目的；以及去除所述光阻层。后续步骤中，该通孔可能被导体层(如ITO层)沉积，使得导体层连接至栅极层，进而使得栅极层通过导体层连接至栅极追踪层。现有技术中，阵列基板的制备工艺较复杂，生产成本高，当该阵列基板与其他部件共同构成显示面板时，由于阵列基板上的数据线或栅极线从显示面板的边缘到显示区域的距离较远，线宽较窄，导致经常会发生short(短路)或open(断路)等不良，另外传统设计对panel边缘处的空间较大，与实现窄边框的显示面板存在冲突。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种阵列基板及其制备方法，以解决现有技术中存在的GOA电路空间被压缩实现显示面板窄边框会引起显示面板的抗静电能力不佳，以及现有技术中制备阵列基板的工艺复杂、生产成本高的技术问题。

为了实现上述目的，本发明提供一种阵列基板包括基板、栅极层、第一绝缘层、栅极追踪层以及第二绝缘层；栅极层，贴附于所述基板一侧的表面；所述第一绝缘层贴附于所述栅极层及所述基板一侧的表面；所述第一绝缘层设有通孔；所述栅极追踪层贴附于所述第一绝缘层远离所述基板一侧的表面，填充所述通孔，且连接至所述栅极层；所述第二绝缘层设于所述栅极追踪层及所述第一绝缘层远离所述基板一侧的表面。

进一步地，所述第一绝缘层为无机物，其材质包括钽氧化物和/或铝锆氧化物；所述第二绝缘层为有机物，其材质包括聚甲基丙烯酸甲酯。