[发明专利]散热组件、需要散热的装置及其制备方法在审
| 申请号: | 201910912018.1 | 申请日: | 2019-09-25 |
| 公开(公告)号: | CN112563223A | 公开(公告)日: | 2021-03-26 |
| 发明(设计)人: | 杨殷创;李健;邱惠和;吴池力 | 申请(专利权)人: | 香港科技大学 |
| 主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/373;H01L23/427;H01L21/48 |
| 代理公司: | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人: | 孙微;金小芳 |
| 地址: | 中国香港*** | 国省代码: | 香港;81 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 散热 组件 需要 装置 及其 制备 方法 | ||
1.一种散热组件,其特征在于包括:
蒸发元件,
冷却元件,以及
位于蒸发元件和冷却元件之间的吸液元件,其表面覆盖有耐腐蚀镀层并且具有微米级结构,
其中所述蒸发元件和所述冷却元件形成了用于容纳液体工质的密封空间并且吸液元件位于所述密封空间内,并且所述蒸发元件在面对密封空间的表面为亲水和疏水混合润湿表面。
2.一种需要散热的装置,其特征在于包括:
权利要求1所述的散热组件。
3.一种制备散热组件的方法,其特征在于包括下列步骤:
(11)提供蒸发元件和冷却元件;
(12)提供吸液元件;
(13)在具有微米结构的吸液元件的表面电镀耐腐蚀镀层;
(14)将吸液元件设置在蒸发元件和冷却元件之间,使所述蒸发元件、所述吸液元件和所述冷却元件形成密封空间,并且使所述蒸发元件在面对密封空间的表面为亲水和疏水混合润湿表面,以及
(15)将液体工质注入所述密封空间。
4.根据权利要求1所述的散热组件或权利要求2所述的需要散热的装置或权利要求3所述的方法,其特征在于所述吸液元件的具有微米级结构与花状纳米级结构形成的复合结构。
5.根据权利要求1或4所述的散热组件或权利要求2或4所述的需要散热的装置或权利要求3所述的方法,其特征在于,所述耐腐蚀镀层由与所述液体工质相兼容的材料形成。
6.根据权利要求1所述的散热组件或权利要求2所述的需要散热的装置或权利要求3所述的方法,其特征在于,所述亲水和疏水混合润湿表面包括由多个疏水岛和多个亲水区域形成的阵列。
7.根据权利要求6所述的散热组件或权利要求6所述的需要散热的装置或权利要求3所述的方法,其特征在于,所述疏水岛的尺寸为10-200μm,
任选地,在所述混合润湿表面的横向和纵向上,相邻的所述疏水岛之间的节距均为50-400μm,
任选地,所述疏水岛占亲水和疏水混合润湿表面的总面积的10-50%;以及
任选地,所述疏水岛由选自硅烷化合物、含氟硅烷化合物、铁氟龙、聚烯烃、聚碳酸酯、聚酰胺、聚丙烯腈、聚酯、丙烯酸酯中的至少一种材料通过光刻方法形成。
8.根据权利要求1和4-7中任意一项所述的散热组件或权利要求2、4-7中任意一项所述的需要散热的装置或者根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述蒸发元件由导热系数为大于200W/(m·K)的金属(铜、铝等),优选为铜形成;
任选地,冷却元件由导热系数为大于200W/(m·K)的金属(铜及其合金、铝等),优选为铜形成;
任选地,所述吸液元件由导热系数为大于10W/(m·K)的耐腐蚀金属(铜及其合金、不锈钢等),优选不锈钢网形成,以及
任选地,所述耐腐蚀金属选自不与氢离子反应的金属,如铜,银,铂和金等,优选为铜。
9.根据权利要求1和4-7中任意一项所述的散热组件或权利要求2、4-7中任意一项所述的需要散热的装置或者根据权利要求3所述的方法,其特征在于,所述散热组件的厚度为不超过240微米,优选190-210微米。
10.根据权利要求1、4-7中任意一项所述的散热组件或权利要求2、4-7中任意一项所述的需要散热的装置或权利要求3所述的方法,其特征在于所述散热组件还包括用于封闭所述的密封空间的密封元件,
任选地,密封元件由Sn、Cu、Ag、Pb或其任意组合形成。
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