[发明专利]一种基于输送优化的PLC内置八度角芯片的晶圆划片机

权利要求书

1.一种基于输送优化的PLC内置八度角芯片的晶圆划片机，其结构包括控制台(1)、加工台(2)、座台(3)、侧台(4)，其特征在于：所述控制台(1)与加工台(2)锁定，所述加工台(2)与座台(3)安装连接，所述加工台(2)与侧台(4)扣接；所述加工台(2)安装有划片装置(5)，所述划片装置(5)由机头传动机(50)、机头(51)、垫座(52)、垫座板(53)组成，所述机头(51)安装在机头传动机(50)上，所述垫座(52)嵌装在垫座板(53)上，所述机头传动机(50)与垫座板(53)安装连接，所述垫座(52)安装有置片装置(520)，所述置片装置(520)包括侧夹结构(60)、置片架(61)，所述侧夹结构(60)与置片架(61)轨道连接；所述侧夹结构(60)包括侧夹板(600)、侧夹条(601)，所述侧夹板(600)与侧夹条(601)轨道连接；所述置片架(61)包括后端片架(610)、前端片架(611)，所述后端片架(610)与前端片架(611)扣接，所述后端片架(610)与前端片架(611)结构相同；所述后端片架(610)包括嵌框块(70)、U板(71)、内置架(72)，所述嵌框块(70)与U板(71)锁定，所述内置架(72)安装在嵌框块(70)、U板(71)上，所述内置架(72)包括对称U架(720)、顶板轴(721)、对称杆架(722)、加固板(723)，所述对称U架(720)与对称杆架(722)焊接，所述顶板轴(721)安装在对称U架(720)上，所述对称杆架(722)穿过加固板(723)；所述顶板轴(721)包括轴架(80)、板轴杆(81)、垫轴板(82)，所述轴架(80)与板轴杆(81)轴连接，所述板轴杆(81)与垫轴板(82)焊接。

2.根据权利要求1所述的一种基于输送优化的PLC内置八度角芯片的晶圆划片机，其特征在于：晶圆由侧台(4)送至加工台(2)处位于置片装置(520)上进行晶圆加工，晶圆置放在垫座(52)处通过机头传动机(50)的传动带动机头(51)进行划片；置片装置(520)采用相对拼接设计，置放晶圆时后端片架(610)与前端片架(611)沿着侧夹结构(60)的轨道相对移动拼合，使晶圆能够放置在对称U架(720)上并通过顶板轴(721)对晶圆环面加强固定，有效避免了晶圆在输送后还需进行大幅度移送至对称U架(720)上的这一过程中出现的抖动；晶圆环面为八度角的斜面利用垫轴板(82)的圆弧面实现两者的贴合固定，大大降低了晶圆环面发生摩擦刮痕的现象。