[发明专利]晶体管在审
| 申请号: | 201910906107.5 | 申请日: | 2019-09-24 |
| 公开(公告)号: | CN110970504A | 公开(公告)日: | 2020-04-07 |
| 发明(设计)人: | 金志昀;徐梓翔;李彦儒;李启弘 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/165;H01L27/088;H01L21/336 |
| 代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 黄艳 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 晶体管 | ||
【权利要求书】:
1.一种晶体管,包括:
一源极/漏极区,且该源极/漏极区包括:
一第一层,其第一平均硅含量介于约80%至100%之间;
一第二层,其第二平均硅含量介于0至约90%之间,第二平均硅含量比第一平均硅含量低至少7%,且该第二层位于该第一层上并与该第一层相邻;
一第三层,其第三平均硅含量介于约80%至100%之间;以及
一第四层,其第四平均硅含量介于0至约90%之间,第四平均硅含量比第三平均硅含量低至少7%,且该第四层位于该第三层上并与该第三层相邻。
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