[发明专利]穿隧式场效晶体管在审
| 申请号: | 201910905780.7 | 申请日: | 2019-09-24 |
| 公开(公告)号: | CN110943121A | 公开(公告)日: | 2020-03-31 |
| 发明(设计)人: | 李峻霣;施保全;侯韦志 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/10;H01L29/739 |
| 代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国 |
| 地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 穿隧式场效 晶体管 | ||
【权利要求书】:
1.一种穿隧式场效晶体管,其特征在于,包含:
一基板;
一源极层,位于该基板之上;
一第一通道层,位于该源极层之上,该第一通道层包含一第一部分和一第二部分;
一第二通道层,位于该第一通道层的该第一部分之上;
一第一漏极层,位于该第二通道层之上;以及
一第一栅极结构,位于该第一通道层的该第二部分之上,且相邻于该第二通道层的一第一侧壁。
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