[发明专利]一种真空镀膜设备及对导电导磁托盘进行快速加热的方法

说明书

本发明公开了一种真空镀膜设备，包括从左向右依次设置的快速预加热装载腔、用于对托盘进行加热的加热缓冲腔、用于对托盘上的产品进行镀膜的镀膜腔、用于托盘缓慢降温的降温缓冲腔、用于冷却托盘的冷却腔、卸载腔，在装载腔、加热缓冲腔、镀膜腔、降温缓冲腔中至少有一个腔设计连接在中高频电源上的感应线圈，感应线圈四周产生的极性瞬间变化的交变磁场，当导电导磁托盘位于上述交变磁场中时，产生涡流效应和磁滞现象被加热，实现快速加热托盘的技术效果；及使用上述设备对导电导磁托盘进行快速加热的方法，采用中高频电源连接感应线圈，使托盘经过由感应线圈产生极性瞬间变化的交变磁场而升温的方式，加热速度快，腔体设计简单，托盘温度稳定。

技术领域

本发明涉及真空镀膜领域，具体涉及一种真空镀膜设备及对导电导磁托盘进行快速加热的方法。

背景技术

就真空镀膜设备来说，对装载样品的托盘进行均匀快速加热，使其达到工艺需求温度是一个关键的步骤。

近年来，大多数真空镀膜设备采取的加热方式为加热块(配备加热丝)外带热气流辅助加热的形式，虽能达到工艺需求温度，但此方式加热速度慢，耗时长，难以在短暂的数秒时间内将装载样品的托盘升到工艺温度。

针对这一问题，采用红外快速加热的方式得到了应用，其可以满足在几十秒的时间内使装载样品的托盘温度达到工艺需求温度，但对应的加热功率略高，持续性或反复性加热会导致真空腔室内温度过高并且难以稳定，另外腔体设计复杂；红外灯管加热的方式通常选用在托盘的正上方，垂直向下照射的方式对其快速加热，这种单面照射的加热方式只能快速加热其上表面温度，托盘下半部温度在数秒的时间内不会有较大改变，由于托盘具有一定的厚度，仅对其上表面单一加热，无法使其整体温度得到有效的上升，所以托盘会存在一个明显的温度梯度，在工艺过程中，托盘的温度会逐渐被复合掉，不断降低，从而使托盘的整体温度低于工艺需求温度，对产线造成不良的影响。

发明内容

本发明的目的是提供一种真空镀膜设备及使用该设备对导电导磁托盘进行快速加热的方法，加热速度快，导电导磁托盘温度均匀，腔体设计简单。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案中的产品是，一种真空镀膜设备，包括：

通过阀门进行隔离的多个腔体；

用于在所述多个腔体之间传输导电导磁托盘的传送装置；

所述腔体中至少有一个镀膜腔；

所述腔体中至少有一个预加热的装载腔；

所述真空镀膜设备还包括由金属线绕设而成的感应线圈，所述感应线圈位于所述真空镀膜设备的一个或多个腔体内，所述感应线圈两端连接有中高频交流电以形成交变磁场，所述导电导磁托盘位于所述交变磁场内。

优选地，所述感应线圈由所述金属线以所述感应线圈所在腔体的轴心线为轴螺旋而成，所述感应线圈中部沿所述感应线圈所在腔体的轴心线方向具有放置所述导电导磁托盘的空间，所述空间内具有所述交变磁场。

进一步优选地，所述导电导磁托盘位于所述交变磁场时，所述导电导磁托盘与所述金属线之间具有一定的间距，所述间距可根据实际需求进行变更。

优选地，所述感应线圈由所述金属线在同一平面内沿几字型绕设而成。

进一步优选地，所述感应线圈所在的平面平行于所述感应线圈所在腔体的轴心线。

优选地，所述金属线为中空铜管，所述中空铜管的中空部分通有绝缘型冷却液。

进一步优选地，所述冷却液为纯水。

进一步优选地，所述冷却液通入所述中空铜管时的温度≤40℃。

优选地，所述感应线圈所在的腔体设置有消磁装置。

优选地，所述传送装置由绝缘材料制成。