[发明专利]一种真空镀膜设备及对导电导磁托盘进行快速加热的方法

权利要求书

1.一种真空镀膜设备，包括：

通过阀门进行隔离的多个腔体；

用于在所述多个腔体之间传输导电导磁托盘的传送装置；

所述腔体中至少有一个镀膜腔；

所述腔体中至少有一个预加热的装载腔；

其特征在于：

所述真空镀膜设备还包括由金属线绕设而成的感应线圈，所述感应线圈位于所述真空镀膜设备的一个或多个腔体内，所述感应线圈两端连接有中高频交流电以形成交变磁场，所述导电导磁托盘位于所述交变磁场内。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述感应线圈由所述金属线以所述感应线圈所在腔体的轴心线为轴螺旋而成，所述感应线圈中部沿所述感应线圈所在腔体的轴心线方向具有放置所述导电导磁托盘的空间，所述空间内具有所述交变磁场。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述导电导磁托盘位于所述交变磁场时，所述导电导磁托盘与所述金属线之间具有一定的间距，所述间距可根据实际需求进行变更。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述感应线圈由所述金属线在同一平面内沿几字型绕设而成。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜设备导电导磁托盘的加热装置，其特征在于：所述感应线圈所在的平面平行于所述感应线圈所在腔体的轴心线。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述金属线为中空铜管，所述中空铜管的中空部分通有绝缘型冷却液。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却液为纯水。

8.根据权利要求6所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却液通入所述中空铜管时的温度≤40℃。

9.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述感应线圈所在的腔体设置有消磁装置。

10.根据权利要求1所述的真空镀膜设备，其特征在于：所述传送装置由绝缘材料制成。

11.根据权利要求1-10中任意一种所述的真空镀膜设备对导电导磁托盘进行快速加热的方法，包括以下步骤：

A.将金属线绕设成感应线圈，将感应线圈放入真空镀膜设备的一个或多个腔体内；

B.在步骤A中的感应线圈中通入中高频交流电，使感应线圈四周产生极性瞬间变化的交变磁场；

C.所述导电导磁托盘位于步骤B中的交变磁场内，产生涡流效应和磁滞现象，从而被加热。

12.根据权利要求11所述的对导电导磁托盘进行快速加热的方法，其特征在于：步骤A中的所述感应线圈由所述金属线以所述感应线圈所在腔体的轴心线为轴螺旋而成，所述感应线圈中部沿所述感应线圈所在腔体轴心线方向具有放置所述导电导磁托盘的空间，所述空间内具有所述交变磁场。

13.根据权利要求12所述的对导电导磁托盘进行快速加热的方法，其特征在于：步骤C中所述导电导磁托盘位于所述交变磁场中时，所述导电导磁托盘与所述金属线之间具有一定间距，所述间距可根据实际需求进行变更。

14.根据权利要求11所述的对导电导磁托盘进行快速加热的方法，其特征在于：步骤A中所述感应线圈由所述金属线在同一平面内沿几字型绕设而成。

15.根据权利要求14所述的对导电导磁托盘进行快速加热的方法，其特征在于：步骤A中所述感应线圈所在的平面平行于所述感应线圈所在腔体的轴心线。

16.根据权利要求11所述的对导电导磁托盘进行快速加热的方法，其特征在于：步骤A中所述金属线为中空铜管，所述中空铜管的中空部分通有绝缘型冷却液。