[发明专利]混合型掩模棒和采用混合型掩模棒的掩模框架组件有效
| 申请号: | 201910892103.6 | 申请日: | 2019-09-20 |
| 公开(公告)号: | CN111074203B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
| 发明(设计)人: | 李秀奂;河在秀;柳光泰;崔镇百;表相佑 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04;G09F9/00;G09F9/33;H10K71/10;H10K59/12 |
| 代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘美华;张川绪 |
| 地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 混合 型掩模棒 采用 框架 组件 | ||
提供了一种混合型掩模棒和一种采用混合型掩模棒的掩模框架组件。该掩模框架组件包括掩模框架以及掩模棒,所述掩模棒包括:第一掩模棒,在第一方向上延伸;第二掩模棒,在与第一方向交叉的第二方向上延伸;以及多个第三掩模棒,连接到第一掩模棒和第二掩模棒,所述至少一个第一掩模棒、所述至少一个第二掩模棒和所述多个第三掩模棒限定多个沉积区域,其中,第一掩模棒包括第一棒和布置在第一棒上的第二棒,并且第一棒和第二棒中的至少一个包括在其中第一掩模棒连接到第二掩模棒的局部凹陷部分。
本申请要求于2018年10月18日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0124578号韩国专利申请的权益,所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
技术领域
一个或更多个实施例涉及一种混合型掩模棒,更具体地,涉及一种采用该混合型掩模棒的掩模框架组件。
背景技术
通常,显示装置可用在诸如智能手机、膝上型电脑、数码相机、便携式摄像机、个人数字助理、笔记本计算机或平板个人计算机的移动设备中,或者诸如台式计算机、电视、户外广告牌、展览用显示装置、车辆仪表板或平视显示器(HUD)的电子设备中。
使用各种方法在显示装置的基底上形成薄膜。在这些方法之中,通过使用掩模将沉积材料沉积到基底上来执行沉积方法。掩模包括其中布置了多个图案孔的图案掩模,或者不需要多个图案孔的开口掩模。开口掩模包括用于沉积公共层的开口,而不是多个图案孔。
为了制造方便起见,使用大型开口掩模来同时制造各种尺寸的显示装置。在向开口掩模施加预定的拉力的同时,将开口掩模焊接到掩模框架上。
发明内容
然而,当将预定的拉力施加到包括多个掩模棒的开口掩模时,掩模棒会在多个掩模棒彼此连接的部分中变形。
一个或更多个实施例包括用于防止掩模棒的在多个掩模棒彼此连接的部分中的变形的混合型掩模棒,以及采用该混合型掩模棒的掩模框架组件。
另外的方面将在随后的详细描述中部分地被阐述,并且部分将通过所述描述而清楚,或者可以通过对所提出的实施例的实践来获知。
根据一个或更多个实施例,一种掩模框架组件包括掩模框架和掩模棒,掩模框架包括开口,掩模棒布置在掩模框架上并且包括:至少一个第一掩模棒,在第一方向上延伸;至少一个第二掩模棒,在与第一方向交叉的第二方向上延伸;以及多个第三掩模棒,连接到至少一个第一掩模棒和至少一个第二掩模棒中的每个的端部,至少一个第一掩模棒、至少一个第二掩模棒和多个第三掩模棒限定多个沉积区域,其中,至少一个第一掩模棒包括第一棒和布置在第一棒上的第二棒,并且第一棒和第二棒中的至少一个包括在其中至少一个第一掩模棒连接到至少一个第二掩模棒的局部凹陷部分。
第一棒和第二棒可以一起在第一方向上延伸并且彼此叠置。
第一棒的厚度可以比第二棒的厚度大。
局部凹陷部分可以设置在第一棒中,并且至少一个第二掩模棒可以安装在局部凹陷部分中。
局部凹陷部分的深度可以与至少一个第二掩模棒的厚度相同,并且第一棒的表面可以与安装在局部凹陷部分中的至少一个第二掩模棒的表面在同一水平面上。
至少一个第二掩模棒可以在施加拉力的同时焊接到至少一个第一掩模棒。
第二棒的宽度可以比第一棒的宽度小。
局部凹陷部分可以包括:第一局部凹陷部分,设置在第一棒中并且在第一方向上延伸;以及第二局部凹陷部分,设置在第一棒和第二棒两者中,并且在第二方向上延伸,其中,第二棒安装在第一局部凹陷部分中,并且至少一个第二掩模棒安装在第二局部凹陷部分中。
第一局部凹陷部分的深度可以与第二棒的厚度相同,第二局部凹陷部分的深度可以与至少一个第二掩模棒的厚度相同,并且第一棒的表面、第二棒的表面和至少一个第二掩模棒的表面可以在同一水平面上。
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