[发明专利]混合型掩模棒和采用混合型掩模棒的掩模框架组件有效
| 申请号: | 201910892103.6 | 申请日: | 2019-09-20 |
| 公开(公告)号: | CN111074203B | 公开(公告)日: | 2023-09-08 |
| 发明(设计)人: | 李秀奂;河在秀;柳光泰;崔镇百;表相佑 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
| 主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04;G09F9/00;G09F9/33;H10K71/10;H10K59/12 |
| 代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 刘美华;张川绪 |
| 地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 混合 型掩模棒 采用 框架 组件 | ||
1.一种掩模框架组件,所述掩模框架组件包括:
掩模框架,包括开口;以及
掩模棒,布置在所述掩模框架上,并且包括:至少一个第一掩模棒,在第一方向上延伸;至少一个第二掩模棒,在与所述第一方向交叉的第二方向上延伸;以及多个第三掩模棒,连接到所述至少一个第一掩模棒和所述至少一个第二掩模棒中的每个的端部,所述至少一个第一掩模棒、所述至少一个第二掩模棒和所述多个第三掩模棒限定多个沉积区域,
其中,所述至少一个第一掩模棒包括第一棒和布置在所述第一棒上的第二棒,
所述第一棒包括所述至少一个第二掩模棒安装到其中的局部凹陷部分,并且
所述第一棒的厚度大于所述至少一个第二掩模棒的厚度。
2.如权利要求1所述的掩模框架组件,其中,所述第一棒和所述第二棒一起在所述第一方向上延伸并且彼此叠置。
3.如权利要求2所述的掩模框架组件,其中,所述第一棒的厚度比所述第二棒的厚度大。
4.如权利要求3所述的掩模框架组件,其中,所述局部凹陷部分的深度与所述至少一个第二掩模棒的厚度相同,并且
所述第一棒的表面与安装在所述局部凹陷部分中的所述至少一个第二掩模棒的表面位于同一水平面上。
5.如权利要求3所述的掩模框架组件,其中,所述至少一个第二掩模棒在施加拉力的同时焊接到所述至少一个第一掩模棒。
6.如权利要求3所述的掩模框架组件,其中,所述第二棒的宽度比所述第一棒的宽度小。
7.如权利要求6所述的掩模框架组件,其中,所述局部凹陷部分包括:
第一局部凹陷部分,设置在所述第一棒中并且在所述第一方向上延伸;以及
第二局部凹陷部分,设置在所述第一棒和所述第二棒两者中,并且在所述第二方向上延伸,并且
其中,所述第二棒安装在所述第一局部凹陷部分中,并且所述至少一个第二掩模棒安装在所述第二局部凹陷部分中。
8.如权利要求7所述的掩模框架组件,其中,所述第一局部凹陷部分的深度与所述第二棒的所述厚度相同,
所述第二局部凹陷部分的深度与所述至少一个第二掩模棒的厚度相同,并且
所述第一棒的表面、所述第二棒的表面和所述至少一个第二掩模棒的表面位于同一水平面上。
9.如权利要求7所述的掩模框架组件,其中,所述至少一个第二掩模棒在施加拉力的同时焊接到所述第二棒上。
10.如权利要求1所述的掩模框架组件,其中,所述至少一个第一掩模棒的两个端部各自连接到所述多个第三掩模棒中的相应一个,
所述至少一个第二掩模棒的第一端部连接到所述至少一个第一掩模棒,以及
所述至少一个第二掩模棒的第二端部连接到所述多个第三掩模棒中的相应一个。
11.如权利要求1所述的掩模框架组件,其中,所述多个沉积区域中的每个布置在通过彼此连接的所述至少一个第一掩模棒、所述至少一个第二掩模棒和所述多个第三掩模棒限定的空间中,并且在所述多个沉积区域之中的一个沉积区域对应于用于沉积在单元显示面板上图案化的相邻像素区域上的公共层的第一开口。
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