[发明专利]光伏电池电极、光伏电池及其制备方法在审
申请号: | 201910883142.X | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN112531037A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 任世荣;孙书龙;何艾华;陈仪;温文彬 | 申请(专利权)人: | 广东汉能薄膜太阳能有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/0445;H01L31/18;H01L31/20 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 韩来兵 |
地址: | 517000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电池 电极 及其 制备 方法 | ||
本申请涉及光伏电池技术领域,具体而言,涉及一种光伏电池电极,包括依次设置的本征ZnO膜层、第一BZO膜层和第二BZO膜层,所述第一BZO膜层的掺硼浓度大于第二BZO膜层的掺硼浓度。光伏电池包括依次设置的基板、第一电极、光电转换层、第二电极和封装胶膜,所述第二电极为本申请技术方案提供的光伏电池电极。采用本技术方案的光伏电池组件通过DH1000试验检测后,与常规电池相比,光伏电池组件的衰减明显降低,光伏电池组件的稳定性更好。
技术领域
本申请涉及光伏电池技术领域,具体而言,涉及一种光伏电池电极和光伏电池以及光伏电池的制备方法。
背景技术
太阳能是一种取之不尽用之不竭的清洁能源,光伏电池的应用前景非常广阔;薄膜太能电池具有弱光下发电、面积大、生产成本低等优势,制造生产薄膜太能电池的技术受到市场广泛关注,成为近年来研究的热点。
薄膜光伏电池组件的基本结构如图1所示,其包括基板1、前电极2、光电转换材料3、背电极4、封装胶膜5和背板6等。封装胶膜一般使用EVA、PVB、POE等高分子材料,这些材料在电池组件中起到粘接、绝缘、保护电池的作用。因封装胶膜受热分解后产生的酸性气体会侵蚀到作为背电极的导电氧化物膜甚至电池内部,从而导致功率下降,影响电池组件的发电量及使用寿命。
发明内容
为了解决上述技术问题,本申请提供了一种光伏电池电极以及光伏电池,还提供了该光伏电池的制备方法。
为了实现上述目的,根据本技术方案的一个方面,本技术方案提供了一种光伏电池电极,包括依次设置的本征ZnO膜层、第一BZO膜层和第二BZO膜层,所述第一BZO膜层的掺硼浓度大于第二BZO膜层的掺硼浓度。
进一步的,所述本征ZnO膜层的厚度为50-150nm,和/或所述第一BZO膜层的厚度为140-350nm,和/或第二BZO膜层的厚度为1600-2000nm。
进一步的,所述光伏电池电极的的方块电阻为14-17Ω/sq。
进一步的,采用低压化学气象沉积制备所述第一BZO膜层和第二BZO层,其中制备所述第一BZO膜层时,B2H6流量与DEZ流量比值为0.3~0.83,制备所述第二BZO膜层时,B2H6流量与DEZ流量比值为0.05~0.25。
为了实现上述目的,根据本技术方案的第二个方面,本技术方案还提供了一种光伏电池,包括依次设置的基板、第一电极、光电转换层、第二电极和封装胶膜,所述第二电极为上述的光伏电池电极,其中,所述第二电极的本征ZnO膜层与所述光电转换层接触,所述第二电极的第二BZO膜层与所述封装胶膜接触。
为了实现上述目的,根据本技术方案的第三个方面,本技术方案还提供了一种光伏电池的制备方法。
根据本申请实施例的光伏电池的制备方法包括以下步骤:
将沉积有光电转换层的基板预热;
在所述光电转换层表面形成本征ZnO膜层;
在所述本征ZnO膜层表面形成第一BZO膜层;
在所述第一BZO膜层表面形成沉积第二BZO膜层;
其中,所述第一BZO膜层的掺硼浓度大于第二BZO膜层的掺硼浓度。
进一步的,将所述基板的预热温度为170℃-190℃。
进一步的,所述本征ZnO膜层、第一BZO膜层和第二BZO膜层采用低压化学气象沉积的方法制备。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的