[发明专利]光伏电池电极、光伏电池及其制备方法

权利要求书

1.一种光伏电池电极，其特征在于，包括依次设置的本征ZnO膜层、第一BZO膜层和第二BZO膜层，所述第一BZO膜层的掺硼浓度大于第二BZO膜层的掺硼浓度。

2.根据权利要求1所述的光伏电池电极，其特征在于，所述本征ZnO膜层的厚度为50-150nm，和/或所述第一BZO膜层的厚度为140-350nm，和/或第二BZO膜层的厚度为1600-2000nm。

3.根据权利要求1所述光伏电池电极，其特征在于，所述光伏电池电极的的方块电阻为14-17Ω/sq。

4.根据权利要求1所述光伏电池电极，其特征在于，采用低压化学气象沉积制备所述第一BZO膜层和第二BZO层，其中制备所述第一BZO膜层时，B₂H₆流量与DEZ流量比值为0.3～0.83，制备所述第二BZO膜层时，B₂H₆流量与DEZ流量比值为0.05～0.25。

5.一种光伏电池，其特征在于，包括依次设置的基板、第一电极、光电转换层、第二电极和封装胶膜，所述第二电极为权利要求1-3任一项所述的光伏电池电极，其中，所述第二电极的本征ZnO膜层与所述光电转换层接触，所述第二电极的第二BZO膜层与所述封装胶膜接触。

6.一种光伏电池的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将沉积有光电转换层的基板预热；

在所述光电转换层表面形成本征ZnO膜层；

在所述本征ZnO膜层表面形成第一BZO膜层；

在所述第一BZO膜层表面形成沉积第二BZO膜层；

其中，所述第一BZO膜层的掺硼浓度大于第二BZO膜层的掺硼浓度。

7.根据权利要求6所述的光伏电池的制备方法，其特征在于，将所述基板的预热温度为170℃-190℃。

8.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述本征ZnO膜层、第一BZO膜层和第二BZO膜层采用低压化学气象沉积的方法制备。

9.根据权利要求8所述的光伏电池的制备方法，其特征在于，在所述光电转换层表面形成本征ZnO膜层，具体为：控制DEZ流量为600-1000sccm，H₂O流量为730-1300sccm，工艺压力为0.4-0.6mbar，反应时间为10-30s。

10.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，在所述本征ZnO膜层表面形成第一BZO膜层，具体为：控制B₂H₆流量为300-500sccm，DEZ流量为600-1000sccm，H2O流量为730-1300sccm，工艺压力为0.4-0.6mbar，反应时间为10-30s。

11.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，在所述第一BZO膜层表面形成沉积第二BZO膜层，具体为：控制B₂H₆流量为50-150sccm，DEZ流量为600-1000sccm，H₂O流量为730-1300sccm，工艺压力为0.4-0.6mbar，反应时间为30-90s。

12.根据权利要求9-11任一项所述的制备方法，其特征在于，控制DEZ与H₂O的流量比值为1.5-1.1:1。