[发明专利]电池片链式刻蚀碱背抛光加工工艺

说明书

本发明提供了电池片链式刻蚀碱背抛光加工工艺，属于电池片技术领域。它解决了现有抛光产生废气严重、成本高等技术问题。电池片链式刻蚀碱背抛光加工工艺，包括以下步骤：S1、入料：电池片送入到链式刻蚀碱背抛光装置中，链式刻蚀碱背抛光装置包括若干用以传送电池片的传送辊以及带液辊，在电池片进入酸洗室一前，对电池片正面喷水并形成保护层；S2、第一次酸洗：电池片进入到酸洗室一内，通过带液辊使电池片背面均匀接触14～16％浓度HF溶液并去除背面及边缘SiO₂；S3、第一次清洗；S4、碱洗；S5、第二次清洗；S6、第二次酸洗；S7：第三次清洗；S7、除湿；S8、出料。本发明具有抛光产生废气少、成本低的优点。

技术领域

本发明属于电池片技术领域，特别是电池片链式刻蚀碱背抛光加工工艺。

背景技术

PERC电池成为主流，效率提升日益重要，而环保政策愈发严格废水处理成本高涨。在目前PERC电池技改背景下，对现有的刻蚀设备进行适当改造可以起到降本提效的作用。

当硅片厚度降低到200微米以下时，长波长的光吸收减少，需要电池有良好的背反射性能

在沉积介质膜钝化的过程中，硅表面的状态一定程度上决定了介质膜的钝化质量，表面越平整，表面积就越小，表面缺陷就越小，同时也越有利于高质量介质膜的沉积，钝化效果越好。背面抛光在PERC工艺中就十分有必要。硅片在扩散后需经历刻蚀。常规的刻蚀目的仅在去除边缘结合背结，对于背面的腐蚀量和平整度要求并不高，要在尽可能小的成本下，引入背面抛光。

而传统的酸性抛光下，会产生大量的氧化氮废气，在氧化氮废气处理成本上较高，对环境污染也会比较严重。

发明内容

本发明的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了电池片链式刻蚀碱背抛光加工工艺，解决了抛光产生废气严重、成本高的问题。

本发明的目的可通过下列技术方案来实现：

电池片链式刻蚀碱背抛光加工工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S1、入料：电池片送入到链式刻蚀碱背抛光装置中，链式刻蚀碱背抛光装置包括若干用以传送电池片的传送辊以及带液辊，在电池片进入酸洗室一前，对电池片正面喷水并形成保护层；

S2、第一次酸洗：电池片进入到酸洗室一内，通过带液辊使电池片背面均匀接触14～16%浓度HF溶液并去除背面及边缘SiO₂；

S3、第一次清洗：在酸洗后电池片进入清洗室一内进行清洗；

S4、碱洗：电池片进入到碱洗室内，电池片浸没至5.5～6.5%浓度KON溶液中，KON溶液中添加碱抛光添加剂，KON溶液与碱抛光液体积比为245～250:2，控制KON溶液液温度在65±10℃，加速电池片与KON溶液反应抛光，并使电池片的背面形成塔基结构；

S5、第二次清洗：在碱洗后电池片进入清洗室二内进行清洗，水温控制在40±5℃；

S6、第二次酸洗：电池片进入到酸洗室二内，将HCL与HF混合溶液均匀喷在电池片正面，去除电池片正面SiO₂和金属离子，HCL与HF混合溶液由14～16%浓度HF溶液和3～5%浓度HCL溶液3:1混合而成；

S7：第三次清洗：在酸洗后电池片进入清洗室三内进行清洗；

S7、除湿：通过除湿机构对电池片正面去水；

S8、出料。

本加工工艺中，采用链式碱抛光后取消了硝酸的使用，减少了氢氟酸的使用量，降低了化学品使用和处理的成本。

采用碱抛光链式技术可通过碱槽和水槽加热的作用，使背面反应生产杂质和有机物清洗更为干净，可以减少链式酸抛后EL下滚轮印等不良。