[发明专利]传感器试验系统

说明书

本发明的课题在于提供吞吐量优异的传感器试验系统。传感器试验系统(1)具备包含以能传递传感器(90)的方式相互连结的多个传感器试验装置(30A～30D)的试验装置组(20)，各个传感器试验装置(30A～30D)具备：施加组件(40)，其包含施加装置(42)，施加装置(42)包含电连接传感器(90)的插座(445)、以及对传感器(90)施加压力的压力腔室(43)；试验组件(35)，其经由插座(445)对传感器(90)进行试验；以及输送机器人(33)，其相对于施加组件(40)搬入搬出传感器(90)。

技术领域

本发明涉及对传感器进行试验的传感器试验系统。

背景技术

在对磁阻效应元件施加磁场并使该磁阻效应元件冷却的同时评价该磁阻效应元件的评价装置是已知的(例如，参照专利文献1)。该评价装置具备在对磁阻效应元件进行载置的载置台的下方设置的珀耳帖元件，该珀耳帖元件经由载置台来冷却磁阻效应元件。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开平11-339232号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

在上述评价装置中，在以多个条件对同一磁阻效应元件进行评价的情况下，每当改变温度条件时，需要重新设定载置台的温度，因此存在评价装置的吞吐量会显著下降的问题。

本发明要解决的课题在于，提供一种吞吐量优异的传感器试验系统。

(用于解决课题的技术方案)

[1]本发明所涉及的传感器试验系统是对检测第一物理量的传感器进行试验的传感器试验系统，所述传感器试验系统具备试验装置组，所述试验装置组包含以能传递所述传感器的方式相互连结的多个传感器试验装置，各个所述传感器试验装置具备：施加组件，其包含至少一个施加装置，所述施加装置包含电连接所述传感器的插座、以及对所述传感器施加所述第一物理量的第一施加部；试验组件，其经由所述插座对所述传感器进行试验；以及第一输送装置，其相对于所述施加组件搬入搬出所述传感器。

[2]在上述发明中，可以是，各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行收容的装置主体，所述装置主体具有：第一开口，通过所述第一开口，所述传感器被供给至所述传感器试验装置内的第一位置；以及第二开口，通过所述第二开口，所述传感器被从所述传感器试验装置内的第二位置排出，多个所述传感器试验装置包含彼此相邻的第一传感器试验装置以及第二传感器试验装置，所述第一传感器试验装置的所述第二开口与所述第二传感器试验装置的所述第一开口相互对置。

[3]在上述发明中，可以是，所述试验装置组包含第二输送装置，所述第二输送装置使从所述第一传感器试验装置的所述第二位置移动至所述第二传感器试验装置的所述第一位置，所述第二输送装置经由所述第一传感器试验装置的所述第二开口和所述第二传感器试验装置的所述第一开口，从所述第一传感器试验装置向所述第二传感器试验装置传递所述传感器。

[4]在上述发明中，可以是，各个所述传感器试验装置具备对所述施加组件、所述试验组件以及所述第一输送装置进行控制的控制组件，一个所述传感器试验装置的所述控制组件对其余的所述传感器试验装置的所述控制组件进行控制。

[5]在上述发明中，可以是，所述传感器试验系统具备：投入装置，其将未试验的所述传感器投入所述试验装置组；以及排出装置，其将试验完成的所述传感器从所述试验装置组排出。

[6]在上述发明中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加压力的压力施加部。

[7]在上述发明中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加2种压力的差压施加部。

[8]在上述发明中，所述第一施加部可以是对所述传感器施加磁场的磁场施加部。