[发明专利]一种双酯酸保护结构单体及其制备方法在审
| 申请号: | 201910879514.1 | 申请日: | 2019-09-18 |
| 公开(公告)号: | CN110590554A | 公开(公告)日: | 2019-12-20 |
| 发明(设计)人: | 许东升;马潇;周浩杰;顾大公;毛智彪;许从应 | 申请(专利权)人: | 宁波南大光电材料有限公司 |
| 主分类号: | C07C69/708 | 分类号: | C07C69/708;C07C67/08;C07C67/54;C07C29/38;C07C35/06;C07C69/54;G03F7/027 |
| 代理公司: | 31333 上海微策知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 李萍 |
| 地址: | 315000 浙江省宁波市北仑*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 双酯 保护结构 光刻胶 集成电路制作 成膜性能 反应效率 光刻工艺 光学材料 长侧链 去保护 产率 高酸 光刻 制备 悬挂 保证 | ||
1.一种双酯酸保护结构单体,其特征在于,所述单体的化学结构通式如式Ⅰ所示:
所述式Ⅰ中R4为环状结构,其环数小于等于5。
2.根据权利要求1所述的双酯酸保护结构单体,其特征在于,所述式I中R1为C1~C4烷基,R2为C1~C4烷基,R3为C1~C6烷基。
3.一种权利要求1或2所述的双酯酸保护结构单体的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:将卤代烷、环内酮、反应溶剂混合得到预备液I;在保护气下,取锂粒加入至反应溶剂中,得到预备液Ⅱ;
S2:将S1中所述预备液I滴加至预备液Ⅱ中,反应温度为30~60℃,得到反应液I;
S3:将S2中所述反应液I倒入酸中,经搅拌、分离、蒸馏得到含烷基的环内醇中间体;
S4:将丙烯酸类单体、乳酸类单体加入反应溶剂中,反应后经蒸馏得到丙烯酸乳酸类酯;
S5:在保护气下,将S3中所述含烷基的环内醇中间体与S4中所述丙烯酸乳酸类酯混合,加入反应溶剂中,得到反应液Ⅱ;
S6:S5中所述反应液Ⅱ经洗涤、分离、蒸馏,得到所述双酯酸保护结构单体。
4.根据权利要求3所述的双酯酸保护结构单体的制备方法,其特征在于,S1中所述环内酮、锂粒、卤代烷、反应溶剂的摩尔比为1:(2~3):(1.5~3):(6~10)。
5.根据权利要求4所述的双酯酸保护结构单体的制备方法,其特征在于,S1中所述反应溶剂选自四氢呋喃、甲苯、乙醚、二氯甲烷、二氯乙烷中的一种或几种。
6.根据权利要求3所述的双酯酸保护结构单体的制备方法,其特征在于,S4和S5中所述反应溶剂中还包括催化剂和阻聚剂。
7.根据权利要求6所述的双酯酸保护结构单体的制备方法,其特征在于,S4中所述丙烯酸类单体、乳酸类单体、反应溶剂、催化剂、阻聚剂的摩尔比为1:(1~3):(6~10):(0.1~1):(0.1~1)。
8.根据权利要求6所述的双酯酸保护结构单体的制备方法,其特征在于,S5中所述含烷基的环内醇中间体、丙烯酸乳酸类酯、反应溶剂、催化剂、阻聚剂的摩尔比为1:(1.2~3):(6~10):(0.1~1):(0.1~1)。
9.根据权利要求8所述的双酯酸保护结构单体的制备方法,其特征在于,S5中所述催化剂为酸类催化剂。
10.一种权利要求1~9任一项所述的双酯酸保护结构单体的应用,其特征在于,所述双酯酸保护结构单体用作集成电路制作中所用光刻胶的原材料。
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