[发明专利]一种可批量生产的透射电镜载网及其制备方法

权利要求书

1.一种可批量生产的透射电镜载网的制备方法，其特征在于：该方法包括以下步骤：

1）根据透射电镜载网要求设计加工光刻掩膜版，得到所需要的掩膜版图形；

2）通过光刻工艺把掩膜版图形转移到硅片上，并通过刻蚀工艺把掩膜版图形刻蚀进硅片中形成铸造模具；

3）将铸造模具加热，之后将低熔点金属熔化后浇注到模具中，待降温至室温后金属固化；

4）抛光去除铸造模具填充后上表面多余的金属，之后将铸造好的金属载网骨架从模具中取出；

5）在金属载网骨架上覆盖有机薄膜形成透射电镜载网。

2.如权利要求1所述的一种可批量生产的透射电镜载网的制备方法，其特征在于：步骤1）所述的掩膜版图形中网孔目数为200～3000目，网孔为方孔、圆孔或者六边形孔。

3.如权利要求1所述的一种可批量生产的透射电镜载网的制备方法，其特征在于：步骤2）所述的通过刻蚀工艺把掩膜版图形刻蚀进硅片中形成铸造模具中，刻蚀深度为20～50。

4.如权利要求1所述的一种可批量生产的透射电镜载网的制备方法，其特征在于：步骤3）所述的低熔点金属为锡铟铋合金、铅锡合金或者铋锡合金，步骤3）所述的将铸造模具加热是指加热到低熔点金属的熔点温度。

5.如权利要求1所述的一种可批量生产的透射电镜载网的制备方法，其特征在于：步骤4）所述的之后将铸造好的金属载网骨架从模具中取出是指使用胶带把铸造好的金属载网骨架从模具中取出。

6.如权利要求1所述的一种可批量生产的透射电镜载网的制备方法，其特征在于：步骤5）所述的有机薄膜为方华膜或者火棉胶膜，其厚度为10～30nm。

7.一种如权利要求1、2、3、4、5或6所述可批量生产的透射电镜载网的制备方法制备得到的透射电镜载网，其特征在于：该透射电镜载网由低熔点金属制备的金属载网骨架及其表面覆盖的有机薄膜组成，金属载网骨架中的网孔为方孔、圆孔或六边形孔，目数为200～3000目。

8.如权利要求7所述的透射电镜载网，其特征在于：所述的低熔点金属为锡铟铋合金、铅锡合金或者铋锡合金；金属载网骨架的厚度为20～50。

9.如权利要求7所述的透射电镜载网，其特征在于：所述的有机薄膜为方华膜或者火棉胶膜，其厚度为10～30nm。