[发明专利]分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构

说明书

本发明公开了一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，解决了现有装置在进行不同组别的硅片旋转操作时，容易出现方形片状硅片旋转变换角度不一致和初次安装调试中容易发生塑料软管断裂的问题。在吸盘连接的旋转空心轴上设置槽型开关，以精确控制旋转空心轴的旋转初始位置和旋转终止位置，从而保证分批次改变的硅片组的旋转角度一致；在同步传送带闭环的末端从动轮轴上设置限位摆块机构，当伺服电机往复摆动角度超过180°时，切断伺服电机电源，以避免塑料软管发生断裂的现象发生。使分批次调整角度的硅片，调整传送角度后一致性好，精度误差小。

技术领域

本发明涉及一种硅片传送带上的按组别分批次改变硅片组传送角度的操作机构，特别涉及一种将传送带上的以四片硅片为一组的硅片，进行同步旋转一定角度的，分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构。

背景技术

硅片是太阳能电池片的原材料，硅料经过：线开方→滚磨→沾棒→切片→去胶→清洗→烘干等工序，被制成厚0.2毫米，156毫米×156毫米的方形片状硅片，方形片状硅片被传送到制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝印等工艺设备中，进行再加工，最后才能得到具有发电功能的电池片；目前，在硅片自动化生产中，一般都是通过自动传送皮带将硅片传送到各自的工艺设备中的，既可避免人工取放硅片所造成的人为污染，又提高了电池片的生产效率。

硅片经过切片工序后，在硅片的表面上会形成切割线痕，方形片状硅片在被传送到刻蚀设备前，硅片会被严格按照线痕方向依次放置在刻蚀工艺传送带上，然后被传送到刻蚀工艺设备中进行刻蚀，刻蚀工艺对进入的方形片状硅片的线痕方向有着严格的要求，不同的刻蚀液配方，对进入到刻蚀设备中的硅片上的线痕的方向要求是不同的，因此，自动生产线上一般均配制有方形片状硅片旋转操作机构，实现对传送来的刻蚀传送带上放置的方形片状硅片进行传送方向的改变和调整，以满足刻蚀设备的要求；现有的硅片旋转操作机构的支架板是设置在刻蚀工艺传送带的正上方，在支架板上一般等间隔地设置有四个（或八个）沿上下垂直方向布置的旋转空心轴，在旋转空心轴的下端安装有方形片状硅片吸盘，在空心轴的上端安装有同步带轮，在空心轴的顶端连接有真空气路软管，真空系统通过该软管实现对硅片吸盘进行供气操作，以实现对方形片状硅片的吸附，在支架板上分别设置有旋转伺服电机和若干个惰轮，在旋转伺服电机的输出轴上设置有主动带轮，主动带轮通过同步带依次与四个同步带轮和惰轮连接，组成一个同步旋转的封闭的同步带机构，在旋转伺服电机的控制下，实现四个同步带轮的同步、等角度、同方向的旋转；现有的硅片旋转操作机构的工作过程如下：当刻蚀工艺传送带上的一组四片硅片，被传送到支架板下方的四个吸盘正下方时，刻蚀工艺传送带被停止传送，真空系统工作，吸盘将该组四片硅片吸附起，使其脱离传送皮带，然后，控制旋转伺服电机旋转一定角度，旋转伺服电机输出轴上的主动带轮，会通过同步带，将四个吸盘上的方形片状硅片同步同向等角度旋转相同的角度，随后真空系统对吸盘断气，四个方形片状硅片被同时重新放置到刻蚀工艺传送带上，刻蚀工艺传送带再次启动，将旋转角度后的一组四个方形片状硅片传送进入到刻蚀工艺设备中，与此同时，刻蚀工艺传送带上随后的另一组四个方形片状硅片被传送至四个吸盘正下方，控制旋转伺服电机反方向旋转相同角度，主动带轮就会反方向同步同角度地将四个空心轴反方向旋转到初始位置，使四个吸盘回到初始启动位置，重复以上控制过程，实现对后续的四个方形片状硅片的吸附旋转，完成后一组硅片的传送角度的改变；现有的硅片旋转操作机构正是通过以上过程，对刻蚀工艺传送带上的方形片状硅片进行分组分批次地进行传送角度的变换的，从理论上讲，分组分批次所进行的硅片传送角度变换应该是相同的，但当旋转伺服电机上的联轴器发生松动时，或者封闭同步带机构部件出现配合偏差时，就会出现旋转伺服电机的旋转角度与最终吸盘旋转执行的角度不一致，导致在进行不同组别的硅片旋转操作时，出现不同组别的方形片状硅片旋转变换角度不一样，直接影响到了刻蚀工艺的质量；另外，吸盘的气源是通过塑料软管与空心轴连接在一起的，在吸盘的旋转过程中，塑料软管也会随之进行往复旋转，在现有的硅片旋转操作机构的初次安装调试中，经常会发生伺服电机往复旋转角度过大的现象，有时甚至超过180°，导致塑料软管的扭曲超过其抗扭的强度，造成塑料软管断裂。

发明内容