[发明专利]分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构

权利要求书

1.一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，包括传送带（1）和电控器，在传送带（1）上放置有被传送硅片（16），在传送带（1）的上方设置有旋转操作机构支架板（2），在旋转操作机构支架板（2）上分别设置有空心轮轴轴承（11）和伺服电机支架（3），在空心轮轴轴承（11）中设置有同步带轮空心轴（10），在同步带轮空心轴（10）的上端设置有同步带轮（9），在同步带轮空心轴（10）的下端连接有吸盘（12），在伺服电机支架（3）上设置有伺服电机（4），伺服电机向下伸出的电机输出轴（5）通过联轴器（6）与主动轮（7）连接在一起，在同步带轮（9）一侧的旋转操作机构支架板（2）上分别设置有惰轮的固定轮轴和从动轮轮轴轴承（22），在惰轮的固定轮轴上活动设置有惰轮（15），在从动轮轮轴轴承（22）中设置有从动轮轮轴（23），在从动轮轮轴（23）的上端设置有从动轮（17），在主动轮（7）、同步带轮（9）、惰轮（15）和从动轮（17）之间设置有封闭的同步带（8），在同步带轮空心轴（10）的上端连接有真空吸附塑料管（13），真空吸附塑料管（13）的另一端与真空系统（14）连通在一起，真空系统（14）与电控器电连接在一起，其特征在于，在同步带轮（9）外侧的旋转操作机构支架板（2）上间隔地设置有旋转启动位槽型光控开关（18）和旋转终止位槽型光控开关（19），旋转启动位槽型光控开关（18）和旋转终止位槽型光控开关（19）是设置在同步带轮（9）外侧的同一圆周上的，在同步带轮（9）上设置有遮光板（20），在旋转操作机构支架板（2）的下底面上设置有检测硅片是否被吸附的接近开关（21），旋转启动位槽型光控开关（18）、旋转终止位槽型光控开关（19）和接近开关（21）分别与电控器电连接在一起。

2.根据权利要求1所述的一种分批次精准变换硅片组传送角度的操作机构，其特征在于，在旋转操作机构支架板（2）上分别设置有四个空心轮轴轴承（11），该四个空心轮轴轴承（11）是沿传送带（1）传送方向在一条直线上等间隔地设置的，在每个空心轮轴轴承（11）中均设置有一个同步带轮（9）；在旋转操作机构支架板（2）上还分别设置有三个惰轮（15），在相邻的两同步带轮（9）之间均设置有一个惰轮（15），相邻的两同步带轮（9）与它俩之间的惰轮（15）连线后所形成的角为锐角；在从动轮轮轴（23）的上端连接有接触开关的触点触发摆杆（25），在触点触发摆杆（25）的一侧设置有接触开关（26），接触开关（26）设置在接触开关固定架（24）上，接触开关固定架（24）固定设置在旋转操作机构支架板（2）上，接触开关（26）与电控器电连接在一起。