[发明专利]感光性树脂组合物、干膜抗蚀层有效
| 申请号： | 201910867734.2 | 申请日： | 2019-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN110531583B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 朱高华 | 申请（专利权）人： | 浙江福斯特新材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/027;G03F7/09 |
| 代理公司： | 浙江千克知识产权代理有限公司 33246 | 代理人： | 裴金华 |
| 地址： | 311305 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 干膜抗蚀层 | ||
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，该树脂组合物包括40～70重量份的碱可溶性树脂、20～50重量份的光聚合单体、0.5～10.0重量份光引发剂和0.1～10.0重量份添加剂，所述碱可溶性树脂含有通式（1）15～35质量％的来自(甲基)丙烯酸的结构单元、通式（2）15～55质量％的来自(甲基)丙烯酸苄基酯的结构单元、通式（3）15～55质量％的苯乙烯的结构单元、和通式（4）1～7质量％的来自(甲基)丙烯酸羟乙酯的结构单元；
通式（1） ，通式（2），
通式（3），通式（4），
其中，通式（1）（2）（4）中，R1、R2、R3分别独立地选自氢原子或甲基。
2.根据权利要求1所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂重均分子量在10000～150000，树脂酸值在100～230mg KOH/g。
3.根据权利要求2所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂重均分子量为20000～120000，树脂酸值在120～180mg KOH/g。
4.根据权利要求1所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂的分子量分布指数(Mw/Mn)为1.0～3.0。
5.根据权利要求4所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述碱可溶性树脂的分子量分布指数(Mw/Mn)为1.0～2.0。
6.根据权利要求1所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述光聚合单体选自(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、壬基苯酚丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)壬基苯酚丙烯酸酯、双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化) 双酚A二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇(丙二醇)二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)新戊二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯一种或多种。
7.根据权利要求6所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述光聚合单体为乙氧化双酚A二(甲基)丙烯酸酯或乙氧化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯。
8.根据权利要求1所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述光引发剂选自安息香醚、二苯甲酮及其衍生物、硫杂蒽酮系类化合物、蒽醌及其衍生物、噻吨酮系列化合物、六芳基双咪唑系列化合物中的一种或多种。
9.根据权利要求1所述的一种感光性树脂组合物，其特征在于，所述添加剂选自增塑剂、消泡剂、阻聚剂中的一种或者多种。
10.一种干膜抗蚀层，其特征在于，所述干膜抗蚀层包含涂于支撑膜表面的所述权利要求1-9中任一项所述的感光性树脂组合物。
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