[发明专利]一种电光调制器

说明书

本申请公开了一种电光调制器，包括基板、光波导、至少一组调制电极和电磁屏蔽结构；电磁屏蔽结构包括覆盖于所述调制电极上方的上屏蔽部，以及设于所述一组调制电极两侧的侧屏蔽部；所述侧屏蔽部至少部分深入所述基板，以将相邻的两组所述调制电极相隔离。该申请增加了电磁屏蔽结构，可以有效隔离电光调制器各通道间的串扰，还可屏蔽行波电极的电磁辐射，解决了行波电极电磁辐射大的问题；在屏蔽结构与调制电极之间填充合适介电常数的电介质，可使得调制电极周围介质的有效介电常数与光波导的有效折射率相匹配，从而使得电磁波的传播速度与光波的传播速度一致，达到完全匹配，以提高电光调制器的调制带宽和调制性能。

技术领域

本申请涉及光通信技术领域，尤其涉及一种电光调制器。

背景技术

目前的光调制系统一般由驱动器和调制器构成，行波电极调制器由于具有可得到较高消光比与较易集成的特点而得到广泛应用。行波电极调制器，按照驱动方式分有单极驱动和双极驱动方式，按照光波导的排布方式还有串联推挽式结构和分离双臂式等结构。一般的行波电极调制系统主要由驱动器20和行波电极调制器10构成，如图1所示，其中，行波电极调制器10的截面示意如图2所示。

其工作原理为：Driver(驱动器20)经过键合引线连接到行波电极调制器10，光波导130放置于调制电极120电场中，由Driver端输出高速数字信号，数字信号到达行波电极调制器10，沿调制电极120传播，光波在光波导130中传播，调制电极120中高速数字信号的所带来的电场变化会使光波导130的有效折射率发生变化。因此当高速数字信号在调制电极120上传播时，高速数字信号的电场使光波导130的折射率发生变化，从而使光波的相位发生变化，使光波携带上数字信号信息，光波在后端的马赫增德尔干涉仪中干涉，从而完成调制。

实际使用中，整个行波电极调制器芯片一般为完整的四通道、八通道或者更多的通道，通道越多，各通道之间的间距就越小，芯片上各个通道之间就会存在串扰。如图3所示，为使用时行波电极调制器内的电磁场辐射示意图，电光调制器安装在一热沉上，即芯片的基板110下面会有热沉垫片，通常为金属垫片，同时也作为金属接地层30。信号电极121的电磁场150会向自由空间辐射，这些辐射会导致电磁辐射问题，有一部分电磁场150还会耦合到相邻的通道造成串扰，串扰会造成信号产生噪声，最终影响链路的误码率，而且Driver输出的共模电压也会造成行调制器芯片端调制电极电磁辐射较大，导致模块认证失败等问题。

发明内容

本申请的目的在于提供一种电光调制器，具有电磁屏蔽结构，可对光调制器上各通道间的串扰进行有效隔离，同时解决了行波电极电磁辐射大的问题。

为了实现上述目的之一，本申请提供了一种电光调制器，包括基板、至少一组调制电极，以及设于所述基板内的光波导；

所述一组调制电极至少包括一个接地电极和一个信号电极；所述信号电极用于传输电信号，所述电信号用于调制所述光波导内传输的光信号；其特征在于：

还包括电磁屏蔽结构；所述电磁屏蔽结构包括覆盖于所述调制电极上方的上屏蔽部，以及设于所述一组调制电极两侧的侧屏蔽部；所述侧屏蔽部至少部分深入所述基板，以将相邻的两组所述调制电极相隔离。

作为实施方式的进一步改进，所述基板包括衬底层、绝缘层和顶层硅，所述光波导位于所述顶层硅处；所述侧屏蔽部深入至所述衬底层内。

作为实施方式的进一步改进，所述侧屏蔽部贯穿所述衬底层的上下表面。

作为实施方式的进一步改进，所述衬底层底部设有金属接地层，所述侧屏蔽部贯穿所述衬底层与所述金属接地层相电性连接。

作为实施方式的进一步改进，所述电磁屏蔽结构与所述接地电极相电性连接。