[发明专利]一种电光调制器

权利要求书

1.一种电光调制器，包括基板、至少一组调制电极，以及设于所述基板内的光波导；

所述一组调制电极至少包括一个接地电极和一个信号电极；所述信号电极用于传输电信号，所述电信号用于调制所述光波导内传输的光信号；其特征在于：还包括电磁屏蔽结构；所述电磁屏蔽结构包括覆盖于所述调制电极上方的上屏蔽部，以及设于所述一组调制电极两侧的侧屏蔽部，同一组所述调制电极的接地电极和信号电极及相应的光波导均位于所述电磁屏蔽结构的两个侧屏蔽部之内；所述侧屏蔽部至少部分深入所述基板，以将相邻的两组所述调制电极相隔离。

2.根据权利要求1所述的电光调制器，其特征在于：所述基板包括衬底层、绝缘层和顶层硅，所述光波导位于所述顶层硅处；所述侧屏蔽部深入至所述衬底层内。

3.根据权利要求2所述的电光调制器，其特征在于：所述侧屏蔽部贯穿所述衬底层的上下表面。

4.根据权利要求3所述的电光调制器，其特征在于：所述衬底层底部设有金属接地层，所述侧屏蔽部贯穿所述衬底层与所述金属接地层相电性连接。

5.根据权利要求1-3任一项所述的电光调制器，其特征在于：所述电磁屏蔽结构与所述接地电极相电性连接。

6.根据权利要求1-3任一项所述的电光调制器，其特征在于：所述上屏蔽部包括一盖板，所述侧屏蔽部包括多个立板，各所述立板分别设于相邻的各组调制电极之间；多个所述立板与所述盖板连接在一起形成多个连接的截面为类n型的结构，或者多个所述立板与所述盖板一体成型形成多个连接的截面为类n型的结构。

7.根据权利要求6所述的电光调制器，其特征在于：所述盖板和所述立板均为金属板。

8.根据权利要求1-3任一项所述的电光调制器，其特征在于：所述一组调制电极为GS电极、GSG电极或GSSG电极。

9.根据权利要求1-3任一项所述的电光调制器，其特征在于：所述调制电极与所述上屏蔽部之间设有电介质层。

10.根据权利要求9所述的电光调制器，其特征在于：所述电介质层的电介质具有使得所述调制电极中的电磁波速度与所述光波导的光波速度相匹配的有效介电常数。