[发明专利]一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统及其使用方法

说明书

本发明公开了一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统及其使用方法，包括：系统架台；主靶室，固定在系统架台上，所述主靶室内具有满足线路板测试时所需的真空度，所述主靶室的下底板上设置四维定位台，所述四维定位台上设置有线路板接收架；至少一个副室，通过气动阀与所述主靶室上留有的接口相连接，所述副室的底部设置有与其内腔连通的抽真空装置；线路板传递机构，连接在所述副室上，其包括分布于所述副室内的线路板固定架，以及固定设置在所述副室上的传递组件；所述线路板固定架上装有待测线路板，所述传递组件的一端伸入所述副室内，并与所述线路板固定架连接；可编程逻辑控制器控制箱，与所述抽真空装置以及传递组件连接。

技术领域

本发明涉及一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统及其使用方法，特别涉及一种利用副室实现在不破坏主靶室真空度的条件下更换待测线路板的系统及其使用方法，属于加速器真空辐照试验中待测线路板更换技术领域。

背景技术

兰州重离子回旋加速器是我国用于单粒子效应测试的重要装置，但由于每年能够用于测试的束流时间有限，远远不能满足日益增长的单粒子效应测试需求，因此，需要充分利用有限的束流时间。受加速器离子能量的限制，一些较重离子的单粒子效应测试要在真空环境完成。真空中测试需要将带有待测器件的测试线路板装入真空靶室，当真空靶室经过长时间抽真空直到真空度达到要求后，才允许打开与加速器连通的真空阀门；测量完毕后要等待分子泵完全停止放气完毕才能取出样品；每更换一个器件都重复经历上述过程，使得测试十分耗时，试验束流的利用效率低。

发明内容

针对上述问题，本发明的目的是提供一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统及其使用方法，能够在保持主靶室真空的条件下实现待测线路板的更换，提高束流利用率，提高试验效率。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案，一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统，其特征在于，包括：

系统架台；

主靶室，固定在系统架台上，所述主靶室内具有满足线路板测试时所需的真空度，所述主靶室的下底板上设置四维定位台，所述四维定位台上设置有线路板接收架；

至少一个副室，通过气动阀与所述主靶室上留有的副室接口相连接，所述副室的底部设置有与其内腔连通的抽真空装置；

线路板传递机构，连接在所述副室上，其包括分布于所述副室内的线路板固定架，以及固定设置在所述副室上的传递组件；所述线路板固定架上装有待测线路板，所述传递组件的一端伸入所述副室内，并与所述线路板固定架连接，所述传递组件用于在测试前后将装有待测线路板的所述线路板固定架在所述主靶室和副室之间进行传递和交接；

可编程逻辑控制器控制箱，与所述抽真空装置以及传递组件连接。

优选地，在所述主靶室的一侧设置两副室，两所述副室的几何中心之间呈90°角分布，其中一所述副室的几何中心与所述主靶室内的束流方向呈45°角，另一所述副室的几何中心与所述主靶室内的束流方向呈135°角，每一所述副室对应与一所述线路板传递机构连接。

优选地，所述主靶室的顶部设置有操作门，在所述操作门上间隔设置多个照明窗，每一所述照明窗上安装有照明灯；在所述主靶室的顶部以及侧壁上开设有多个观察窗，在所述主靶室设置观测摄像头；所述主靶室的侧壁上开设有与所述副室连通的副室接口；在所述主靶室的侧壁上开设供束流穿过的束流管道接口和束流引出窗；在所述主靶室的底部设置分子泵，在所述主靶室的下底板上开设有分子泵接口，所述分子泵通过分子泵阀门连接在所述分子泵接口上；在所述主靶室内且对应于所述四维定位台的两侧设置两探测器，在所述主靶室的外部设置与两所述探测器对应连接的两驱动机构，所述驱动机构用于在测试时驱动对应的所述探测器分布在束流方向上。