[发明专利]一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统及其使用方法

权利要求书

1.一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统，其特征在于，包括：

系统架台(1)；

主靶室(2)，固定在系统架台(1)上，所述主靶室(2)内具有满足线路板测试时所需的真空度，所述主靶室(2)的下底板(20)上设置四维定位台(21)，所述四维定位台(21)上设置有线路板接收架(22)；

至少一个副室(3)，通过气动阀(30)与所述主靶室(2)上留有的副室接口(23)相连接，所述副室(3)的底部设置有与其内腔连通的抽真空装置(31)；

线路板传递机构(4)，连接在所述副室(3)上，其包括分布于所述副室(3)内的线路板固定架(41)，以及固定设置在所述副室(3)上的传递组件(42)；所述线路板固定架(41)上装有待测线路板，所述传递组件(42)的一端伸入所述副室(3)内，并与所述线路板固定架(41)连接，所述传递组件(42)用于在测试前后将装有待测线路板的所述线路板固定架(41)在所述主靶室(2)和副室(3)之间进行传递和交接；

可编程逻辑控制器控制箱，与所述抽真空装置(31)以及传递组件(42)连接。

2.如权利要求1所述的一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统，其特征在于：在所述主靶室(2)的一侧设置两副室(3)，两所述副室(3)的几何中心之间呈90°角分布，其中一所述副室(3)的几何中心与所述主靶室(2)内的束流方向呈45°角，另一所述副室(3)的几何中心与所述主靶室(2)内的束流方向呈135°角，每一所述副室(3)对应与一所述线路板传递机构(4)连接。

3.如权利要求1或2所述的一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统，其特征在于：所述主靶室(2)的顶部设置有操作门(200)，在所述操作门(200)上间隔设置多个照明窗(201)，每一所述照明窗(201)上安装有照明灯；在所述主靶室(2)的顶部以及侧壁上开设有多个观察窗(202)，在所述主靶室(2)设置观测摄像头(203)；所述主靶室(2)的侧壁上开设有与所述副室(3)连通的副室接口(23)；在所述主靶室(2)的侧壁上开设供束流穿过的束流管道接口(204)和束流引出窗(205)；在所述主靶室(2)的底部设置分子泵(206)，在所述主靶室(2)的下底板(20)上开设有分子泵接口，所述分子泵(206)通过分子泵阀门连接在所述分子泵接口上；在所述主靶室(2)内且对应于所述四维定位台(21)的两侧设置两探测器(207)，在所述主靶室(2)的外部设置与两所述探测器(207)对应连接的两驱动机构(208)，所述驱动机构(208)用于在测试时驱动对应的所述探测器(207)分布在束流方向上。

4.如权利要求1或2所述的一种用于线路板测试的主副室结构靶室系统，其特征在于：所述副室(3)呈方形结构，所述副室(3)的顶壁上设有接线法兰(301)，所述副室(3)的底壁四角设置有支撑脚(302)；在所述副室(3)的四个侧壁上分别设有带有正面观察窗(303)的换样门(304)、主靶室接口(305)、侧面观察窗(306)和传递机构接口(307)，在所述副室(3)的与所述侧面观察窗(306)同侧的侧壁上还设置有真空规管(307)；在所述副室(3)的与所述传递机构接口(308)同侧的侧壁上还设有放气阀(309)；所述抽真空装置(31)为分子泵(310)，在所述副室(3)的底部开设分子泵接口(311)，所述分子泵(310)通过分子泵闸板阀(312)连接在所述副室(3)上的所述分子泵接口(311)上。