[发明专利]一种芯片拾取装置

说明书

本发明公开了一种芯片拾取装置，涉及芯片加工技术领域，包括：传送带、拾取部、第二抽风机、驱动部和控制部，传送带呈网状结构，芯片在传送带上进行转移；拾取部包括吸盘、第一抽风机和电缸，吸盘设置在传送带的上方，第一抽风机通过抽风管与吸盘连通，电缸与吸盘动力连接，用于驱动吸盘上下移动；驱动部与电缸动力连接，用于驱动电缸在水平方向上来回移动；第二抽风机设置在传送带的下方；控制部与第二抽风机电性连接，用于控制当吸盘与传送带上的芯片接触时，第二抽风机停止工作，当芯片离开传送带上后，第二抽风机开始工作。本发明可以将芯片上的污染颗粒去除，保证了芯片被吸取前芯片上没有污染颗粒，避免了污染颗粒对芯片后续加工造成影响。

技术领域

本发明涉及芯片加工技术领域，特别涉及一种芯片拾取装置。

背景技术

芯片在加工过程中通常要使用到拾取装置对芯片进行转移，使芯片从一道工序上移动到下一道工序上，目前的拾取装置大多都是简单的将芯片拾取，然后进行转移，然而芯片上残留的污染颗粒会对芯片的后续加工造成影响，例如在芯片与拾取头之间存在污染颗粒，则在拾取芯片过程中很容易因吸力的压迫导致芯片的损坏。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种芯片拾取装置，用于去除拾取前芯片上的污染颗粒。

基于上述目的，本发明提供的一种芯片拾取装置，包括：

传送带、拾取部、第二抽风机、驱动部和控制部，其中，

所述传送带呈网状结构，芯片在所述传送带上进行转移；

所述拾取部包括吸盘、第一抽风机和电缸，所述吸盘设置在所述传送带的上方，所述第一抽风机通过抽风管与所述吸盘连通，所述电缸与所述吸盘动力连接，用于驱动所述吸盘上下移动；

所述驱动部与所述电缸动力连接，用于驱动所述电缸在水平方向上来回移动；

所述第二抽风机设置在所述传送带的下方；

所述控制部与所述第二抽风机电性连接，用于控制当所述吸盘与所述传送带上的芯片接触时，所述第二抽风机停止工作，当芯片离开所述传送带上后，所述第二抽风机开始工作。

可选的，所述控制部包括压力传感器、弹簧和控制器，所述弹簧一端固定连接在所述吸盘上，另一端固定连接在所述压力传感器上，当吸盘未与芯片接触时，所述压力传感器距离所述传送带的的最小距离小于所述吸盘距离所述传送带的最小距离，所述控制器与所述压力传感器和所述第二抽风机电性连接。

可选的，所述驱动部包括框体，所述框体上转动连接有丝杆，所述丝杆上螺纹连接有连接件，所述电缸固定连接在所述连接件的底部，所述连接件滑动连接在所述框体上，所述丝杆的一端动力连接有电机。

可选的，所述驱动部和所述拾取部均设有两组，两组驱动部分别与两组拾取部动力连接。

可选的，所述吸盘具有多个吸口。

可选的，所述吸口处设有环形保护层。

可选的，所述环形保护层由橡胶材料制成。

可选的，所述第一抽风机还连通有过滤盒，所述过滤盒内设有过滤网。

利用本装置拾取芯片时，驱动部控制电缸移动，将吸盘移动到芯片的上方，此时第一抽风机和第二抽风机均开始工作，第一抽风机的吸力小于第二抽风机的吸力，此时芯片还位于传送带上，当芯片上的污染颗粒此时会被第一抽风机吸走，控制电缸伸长，当吸盘与芯片接触时，控制部控制第二抽风机停止工作，此时芯片失去向下的吸力，在第一抽风机的工作下，芯片被吸盘吸起，此时控制器控制第二抽风机开始工作，由于芯片被吸起，芯片与第二抽风机之间的距离增大，此时第二抽风机对芯片的吸力减小，芯片在吸盘上不会落下，最后通过驱动部驱动电缸移动对芯片进行转移。