[发明专利]一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置在审
申请号: | 201910859208.1 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN110468418A | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 罗欢 | 申请(专利权)人: | 上海八菱环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25B15/00 |
代理公司: | 51270 成都瑞创华盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 邓瑞<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 201800 上海市嘉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 蚀刻槽 出液管道 废氯气 反应釜 酸性蚀刻液 射流器 一价铜离子 出气管道 二价铜离子 反应釜外壁 底部连通 电解氯化 互相连通 气体入口 液体入口 再生利用 输送泵 连通 还原 再生 | ||
本发明公开了一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置,包括反应釜和蚀刻槽,反应釜外壁上设有射流器,反应釜上方设有出气管道,反应釜的下方设有与出液管道,蚀刻槽包括第一蚀刻槽和第二蚀刻槽,出液管道包括第一出液管道和第二出液管道,第一蚀刻槽和第二蚀刻槽分别通过第一出液管道和第二出液管道与反应釜底部连通;第一蚀刻槽和第二蚀刻槽通过管道互相连通;第二蚀刻槽通过输送泵与射流器的液体入口连接,出气管道与废氯气管道与射流器的气体入口连通,本新型通过将电解氯化铜产生的废氯气与酸性蚀刻液的一价铜离子反应,使一价铜离子还原为二价铜离子,从而使酸性蚀刻液能够再生利用,既避免了废氯气污染环境,同时增加了废氯气的经济价值。
技术领域
本发明涉及蚀刻液再生利用领域,特别是一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置。
背景技术
在工业生产电解氯化铜时候,会产生出大量的废氯气,由于氯气具有较高的毒性,所以如何处理这些废氯气是电解氯化铜过程中一个非常重要的环节,再有,DES线在连续生产中,酸性蚀刻液将不断的蚀刻二价铜产生一价铜,需要用大量的氧化还原剂将一价铜离子还原为二价铜离子,而氯气则可以溶解到酸性蚀刻液中充当氧化还原剂的作用,因此,本申请在这样的背景技术引导下而发明出来。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足,提供一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置,通过将电解氯化铜时产生的废氯气溶于酸性蚀刻液中,是酸性蚀刻液中的一价铜离子还原成二价铜离子,使酸性蚀刻液得到了再生利用。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置,包括反应釜和蚀刻槽,所述反应釜外壁上设有与反应釜内腔连通的射流器,反应釜的上方设有与反应釜内腔连通的出气管道,反应釜的下方设有与出液管道,所述蚀刻槽通过出液管道与反应釜底部连通。
进一步的,所述蚀刻槽包括第一蚀刻槽和第二蚀刻槽,出液管道包括第一出液管道和第二出液管道,第一蚀刻槽和第二蚀刻槽分别通过第一出液管道和第二出液管道与反应釜底部连通;第一蚀刻槽和第二蚀刻槽通过管道互相连通;第一蚀刻槽和第二蚀刻槽内设有DES线。
进一步的,所述第二蚀刻槽通过管道连接有输送泵,输送泵的出口端通过药液输送管道与射流器的液体入口连接,射流器的气体入口与废氯气管道连接,所述出气管道与所述废氯气管道连通。
进一步的,所述反应釜内部倾斜向下设有一减压板,所述减压板上设有若干通孔。
进一步的,所述第一蚀刻槽和第二蚀刻槽中设有酸性蚀刻液。
进一步的,所述第一出液管道和第二出液管道的数量分别为两根。
进一步的,所述废氯气管道、出气管道、第一出液管道、第二出液管道以及药液输送管道的内壁均设有防腐涂层。
本发明的有益效果是:本新型通过将电解氯化铜产生的废氯气与酸性蚀刻液的一价铜离子反应,使一价铜离子还原为二价铜离子,从而使酸性蚀刻液能够再生利用,既避免了废氯气污染环境,同时增加了废氯气的经济价值。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图中,1-反应釜,2-蚀刻槽,3-射流器,4-出气管道,5-出液管道,6-输送泵,7-废氯气管道,8-减压板,9-药液输送管道,21-第一蚀刻槽,22-第二蚀刻槽,51-第一出液管道,52-第二出液管道。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式,本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用,本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用,在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是,在不冲突的情况下,以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。
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