[发明专利]一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置在审
| 申请号： | 201910859208.1 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110468418A | 公开（公告）日： | 2019-11-19 |
| 发明（设计）人： | 罗欢 | 申请（专利权）人： | 上海八菱环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C25B15/00 |
| 代理公司： | 51270 成都瑞创华盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 邓瑞<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
| 地址： | 201800 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蚀刻槽 出液管道 废氯气 反应釜 酸性蚀刻液 射流器 一价铜离子 出气管道 二价铜离子 反应釜外壁 底部连通 电解氯化 互相连通 气体入口 液体入口 再生利用 输送泵 连通 还原 再生 | ||
1.一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置，包括反应釜(1)和蚀刻槽(2)，其特征在于，所述反应釜(1)外壁上设有与反应釜(1)内腔连通的射流器(3)，反应釜(1)的上方设有与反应釜(1)内腔连通的出气管道(4)，反应釜(1)的下方设有与出液管道(5)，所述蚀刻槽(2)通过出液管道(5)与反应釜(1)底部连通。
2.根据权利要求1所述的一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置，其特征在于，所述蚀刻槽(2)包括第一蚀刻槽(21)和第二蚀刻槽(22)，所述出液管道(5)包括第一出液管道(51)和第二出液管道(52)，第一蚀刻槽(21)和第二蚀刻槽(22)分别通过第一出液管道(51)和第二出液管道(52)与反应釜(1)底部连通；第一蚀刻槽(21)和第二蚀刻槽(22)通过管道互相连通；第一蚀刻槽(21)和第二蚀刻槽(22)内设有DES线。
3.根据权利要求1和2所述的一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置，其特征在于，所述第二蚀刻槽(22)通过管道连接有输送泵(6)，所述输送泵(6)的出口端通过药液输送管道(9)与射流器(3)的液体入口连接，射流器(3)的气体入口与废氯气管道(7)连接，所述出气管道(4)与所述废氯气管道(7)连通。
4.根据权利要求1所述的一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置，其特征在于，所述反应釜(1)内部倾斜向下设有一减压板(8)，所述减压板(8)上设有若干通孔。
5.根据权利要求1所述的一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置，其特征在于，所述第一蚀刻槽(21)和第二蚀刻槽(22)中设有酸性蚀刻液。
6.根据权利要求1所述的一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置，其特征在于，所述第一出液管道(51)和第二出液管道(52)的数量分别为两根。
7.根据权利要求1和2和3所述的一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置，其特征在于，所述废氯气管道、出气管道、第一出液管道、第二出液管道以及药液输送管道的内壁均设有防腐涂层。
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