[发明专利]生长炉用坩埚托盘及生长炉

权利要求书

1.一种生长炉用坩埚托盘，其特征在于，包括：托盘本体、调节底托、第一调节件、第二调节件，其中，

所述调节底托设置于所述托盘本体的底部，用于承载所述托盘本体；

所述第一调节件为多个，均设置于所述调节底托上，并沿所述调节底托的周向分布；所述第二调节件也为多个，均设置于所述调节底托中，且与所述第一调节件一一对应地设置；所述第一调节件的一端与所述托盘本体的底面接触，另一端抵住所述第二调节件；所述第二调节件可在所述调节底托中沿所述调节底托的径向水平移动或与水平方向成一定角度移动，进而驱使所述第一调节件沿竖直方向移动或与竖直方向呈一定角度移动，从而托着所述托盘本体升降，以调平所述托盘本体。

2.根据权利要求1所述的生长炉用坩埚托盘，其特征在于，所述调节底托上设有多个调节孔道，所述调节孔道均包括第一孔道和第二孔道，所述第一孔道和所述第二孔道相互连通，所述第一孔道沿所述调节底托的轴向设置，且开口设于所述调节底托的上表面，所述第二孔道沿所述调节底托的径向设置，且开口设于所述调节底托的侧面或下表面；

所述第一调节件设于所述第一孔道内，所述第二调节件设于所述第二孔道内。

3.根据权利要求1所述的生长炉用坩埚托盘，其特征在于，所述第一调节件为球形。

4.根据权利要求1所述的生长炉用坩埚托盘，其特征在于，所述第二调节件与所述第一调节件接触的位置处设置有斜面或锥面。

5.根据权利要求2所述的生长炉用坩埚托盘，其特征在于，所述第二孔道内具有内螺纹，所述第二调节件具有与所述内螺纹配合的外螺纹。

6.根据权利要求1-5任一项所述的生长炉用坩埚托盘，其特征在于，所述托盘本体的底面上设有多个第一凹槽，所述第一凹槽与所述第一调节件一一对应地设置，用于容置部分所述第一调节件。

7.根据权利要求1-5任一项所述的生长炉用坩埚托盘，其特征在于，所述调节底托的顶面上设置有凸块，所述托盘本体的底面上设置有第二凹槽，所述凸块与所述第二凹槽相互配合以支撑所述托盘本体。

8.根据权利要求7所述的生长炉用坩埚托盘，其特征在于，所述凸块为半球形，所述第二凹槽的内周面为半球面。

9.根据权利要求7所述的生长炉用坩埚托盘，其特征在于，所述凸块的高度大于所述第二凹槽的深度。

10.一种生长炉，包括生长炉本体、坩埚及坩埚托盘，其特征在于，所述坩埚托盘为如权利要求1-9任一项所述的生长炉用坩埚托盘。