[发明专利]蚀刻方法及蚀刻装置

权利要求书

1.一种蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻方法包括：

提供多个工件与多个夹具；

将一个或多个所述工件置入每个所述夹具中；

将所述多个夹具依次浸入蚀刻液中进行蚀刻；以及

当每个所述夹具浸入所述蚀刻液时调整蚀刻参数，以使每个所述工件的蚀刻量相等。

2.如权利要求1所述的蚀刻方法，其特征在于，“当每个所述夹具浸入所述蚀刻液时调整蚀刻参数”包括：

根据蚀刻参数、已蚀刻工件的参数、以及所述蚀刻量建立第一蚀刻模型；以及

根据所述第一蚀刻模型来调整所述蚀刻参数。

3.如权利要求2所述的蚀刻方法，其特征在于，所述蚀刻参数包括蚀刻时间、所述蚀刻液的浓度、以及所述蚀刻液的温度中的任意一种或多种的组合。

4.如权利要求3所述的蚀刻方法，其特征在于，所述已蚀刻工件的参数包括所述已蚀刻工件的数量、所述已蚀刻工件的尺寸、以及所述已蚀刻工件的材质中的任意一种或多种的组合。

5.如权利要求4所述的蚀刻方法，其特征在于，“当每个所述夹具浸入所述蚀刻液时调整蚀刻参数”包括：

根据所述蚀刻时间、所述已蚀刻工件的数量、以及所述蚀刻量建立所述第一蚀刻模型；以及

根据所述第一蚀刻模型来调整所述蚀刻参数。

6.如权利要求5所述的蚀刻方法，其特征在于，“根据所述第一蚀刻模型来调整所述蚀刻参数”包括：

随着所述已蚀刻工件的数量的增加，增加所述蚀刻时间，以使每个所述工件的蚀刻量相等。

7.如权利要求5所述的蚀刻方法，其特征在于，“当每个所述夹具浸入所述蚀刻液时调整蚀刻参数”还包括：

根据所述已蚀刻工件的参数与所述蚀刻液的浓度建立蚀刻液模型；

根据所述蚀刻时间、所述蚀刻液模型、以及所述蚀刻量建立所述第二蚀刻模型；以及

根据所述第二蚀刻模型来调整所述蚀刻参数。

8.如权利要求7所述的蚀刻方法，其特征在于，“当每个所述夹具浸入所述蚀刻液时调整蚀刻参数”还包括：

当所述蚀刻液的浓度小于或等于预设蚀刻液的浓度时；或者当所述已蚀刻工件的数量大于或等于预设工件数量时，更换所述蚀刻液。

9.如权利要求2所述的蚀刻方法，其特征在于，“当每个所述夹具浸入所述蚀刻液时调整蚀刻参数”还包括：

所述第一蚀刻模型还包括修正项，所述修正项用于修正所述第一蚀刻模型，其中，所述修正项根据所述已蚀刻工件的参数及所述蚀刻时间得到。

10.一种蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻装置包括：

夹具，所述夹具用于夹持一个或多个工件；

移动件，所述移动件用于移动所述多个夹具并将所述多个夹具依次浸入蚀刻液中进行蚀刻；以及

处理器，所述处理器包括调整单元，所述调整单元用于当每个所述夹具浸入所述蚀刻液时调整蚀刻参数，以使每个所述工件的蚀刻量相等。

11.如权利要求10所述的蚀刻装置，其特征在于，处理器还包括：

第一建立单元，所述第一建立单元用于根据蚀刻参数、已蚀刻工件的参数、以及所述蚀刻量建立第一蚀刻模型；

所述调整单用于根据所述第一蚀刻模型来调整所述蚀刻参数。

12.如权利要求11所述的蚀刻装置，其特征在于，所述蚀刻参数包括蚀刻时间、所述蚀刻液的浓度、以及所述蚀刻液的温度中的任意一种或多种的组合；所述已蚀刻工件的参数包括所述已蚀刻工件的数量、所述已蚀刻工件的尺寸、所述已蚀刻工件的材质中的任意一种或多种的组合；

所述第一建立单元用于根据所述蚀刻时间、所述已蚀刻工件的数量、以及所述蚀刻量建立所述第一蚀刻模型；

所述调整单元用于根据所述第一蚀刻模型来调整所述蚀刻参数。