[发明专利]超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台

说明书

本发明公开了一种超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，包括外壳、旋转平台、旋转轴、轴承和上顶片。所述旋转轴具有上端部和与上端部一体成型的下端部，所述旋转轴与旋转平台固定连接。所述轴承和上顶片依次套接于旋转轴的上端部，所述上顶片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第一空间。本发明公开的超高真空用大行程精密压电位移台，采用逆向压电效应，使电能被间接转化为旋转运动的动能。与传统电机相比，具有体积较小、延迟较低、转矩较大、旋转精度高、低速运行稳定、可控性高等特点。

技术领域

本发明属于精密旋转控制技术领域，具体涉及一种超高真空用大行程精密压电位移台。

背景技术

公开号为CN107941261B，主题名称为传感器设备低温测试台的发明专利，其技术方案公开了“包括恒温器、综合工装台和预加载装置；所述恒温器内设有一液氦池，所述综合工装台位于所述液氦池内；所述预加载装置包括真空管、传动单元和力加载控制单元，所述传动单元位于所述真空管内，所述力加载控制单元与所述传动单元连接，所述力加载控制单元与所述真空管密封连接，所述真空管通过法兰与所述恒温器的顶部开口密封连接；所述综合工装台的最外层为真空盒，所述真空盒与所述预加载装置的真空管密封连接，所述真空盒内部设有用于安装待测传感器设备的测试工装，所述真空管内的传动单元与所述测试工装连接”。

然而，以上述发明专利为例，不能实现旋转运动，进而也不能采用逆向压电效应使得电能被间接地转化为旋转运动的动能，需要予以进一步改进。

发明内容

本发明针对现有技术的状况，克服以上缺陷，提供一种超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台。

本发明采用以下技术方案，所述超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台包括外壳和旋转平台，还包括：

旋转轴，所述旋转轴具有上端部和与上端部一体成型的下端部，所述旋转轴与旋转平台固定连接；

轴承和上顶片，所述轴承和上顶片依次套接于旋转轴的上端部，所述上顶片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第一空间，各个压电陶瓷组件的上端面与上顶片紧密贴合并且相互接触，各个压电陶瓷组件的下端面与设置于旋转轴的下端部的上表面的第二摩擦层紧密贴合并且相互接触；

底片，所述底片与上顶片同轴设置，所述底片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第二空间，各个压电陶瓷组件的上端面与设置于旋转轴的下端部的下表面的第一摩擦层紧密贴合并且相互接触，各个压电陶瓷组件的下端面与底片紧密贴合并且相互接触；

预紧片和多个蓝宝石球，各个蓝宝石球位于预紧片和底片之间，各个蓝宝石球部分地内嵌于位于底片的凹槽。

根据上述技术方案，作为上述技术方案的进一步优选技术方案，所述超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台的尺寸为30mm*30mm*34mm。

根据上述技术方案，作为上述技术方案的进一步优选技术方案，所述轴承采用真空轴承。

根据上述技术方案，作为上述技术方案的进一步优选技术方案，所述超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台采用无磁材质材料制成。

根据上述技术方案，作为上述技术方案的进一步优选技术方案，所述旋转平台沿轴向方向具有贯通孔。

本发明专利申请还公开了一种超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，包括外壳和旋转平台，还包括：

旋转轴，所述旋转轴与旋转平台固定连接；

轴承和上顶片，所述轴承和上顶片依次套接于旋转轴，所述上顶片与旋转轴之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第一空间，各个压电陶瓷组件的上端面与上顶片紧密贴合并且相互接触，各个压电陶瓷组件的下端面与设置于旋转轴的下端部的上表面的第二摩擦层紧密贴合并且相互接触；