[发明专利]超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台在审
| 申请号： | 201910841789.6 | 申请日： | 2019-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110501524A | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 王文杰 | 申请（专利权）人： | 仪晟科学仪器(嘉兴)有限公司 |
| 主分类号： | G01Q30/10 | 分类号： | G01Q30/10;G01Q30/16;G01Q30/20 |
| 代理公司： | 33253 嘉兴启帆专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 张抗震<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市南湖区亚*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 旋转轴 上端部 上顶 超高真空 旋转平台 下端部 轴承 逆向压电效应 压电陶瓷组件 精密旋转台 一体成型的 传统电机 低速运行 第一空间 压电陶瓷 压电位移 大行程 极低温 可控性 动能 套接 置入 转矩 延迟 精密 转化 | ||
1.一种超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，包括外壳和旋转平台，还包括：
旋转轴，所述旋转轴具有上端部和与上端部一体成型的下端部，所述旋转轴与旋转平台固定连接；
轴承和上顶片，所述轴承和上顶片依次套接于旋转轴的上端部，所述上顶片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第一空间，各个压电陶瓷组件的上端面与上顶片紧密贴合并且相互接触，各个压电陶瓷组件的下端面与设置于旋转轴的下端部的上表面的第二摩擦层紧密贴合并且相互接触；
底片，所述底片与上顶片同轴设置，所述底片与旋转轴的下端部之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第二空间，各个压电陶瓷组件的上端面与设置于旋转轴的下端部的下表面的第一摩擦层紧密贴合并且相互接触，各个压电陶瓷组件的下端面与底片紧密贴合并且相互接触；
预紧片和多个蓝宝石球，各个蓝宝石球位于预紧片和底片之间，各个蓝宝石球部分地内嵌于位于底片的凹槽。
2.根据权利要求1所述的超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，所述超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台的尺寸为30mm*30mm*34mm。
3.根据权利要求1所述的超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，所述轴承采用真空轴承。
4.根据权利要求1所述的超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，所述超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台采用无磁材质材料制成。
5.根据权利要求1所述的超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，所述旋转平台沿轴向方向具有贯通孔。
6.一种超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，包括外壳和旋转平台，还包括：
旋转轴，所述旋转轴与旋转平台固定连接；
轴承和上顶片，所述轴承和上顶片依次套接于旋转轴，所述上顶片与旋转轴之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第一空间，各个压电陶瓷组件的上端面与上顶片紧密贴合并且相互接触，各个压电陶瓷组件的下端面与设置于旋转轴的下端部的上表面的第二摩擦层紧密贴合并且相互接触；
底片，所述底片与上顶片同轴设置，所述底片与旋转轴之间具有供置入至少一个压电陶瓷组件的第二空间，各个压电陶瓷组件的上端面与设置于旋转轴的下表面的第一摩擦层紧密贴合并且相互接触，各个压电陶瓷组件的下端面与底片紧密贴合并且相互接触；
预紧片和多个蓝宝石球，各个蓝宝石球位于预紧片和底片之间，各个蓝宝石球部分地内嵌于位于底片的凹槽。
7.根据权利要求6所述的超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，所述轴承的滚珠具有二硫化钼保护层。
8.根据权利要求6所述的超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，所述压电陶瓷组件包括4片依次叠合设置的压电陶瓷片。
9.根据权利要求6所述的超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，所述第一摩擦层采用氧化铝片。
10.根据权利要求6所述的超高真空极低温用压电陶瓷精密旋转台，其特征在于，所述预紧片采用铍铜片。
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