[发明专利]障碍检测装置及方法

说明书

本发明涉及一种障碍检测装置及方法，障碍检测装置包括：支撑座、与支撑座相连的检测臂，检测臂上设置有至少一个检测信号发射器；检测信号发射器用于在障碍检测时发出沿预设方向传输的检测光信号。本发明采用检测信号发射器向待测区域发射检测光信号，通过检测光信号的传输情况判断检测区域是否有障碍物，能够准确的检测出待测区域的障碍物，节省人力成本，提高工作效率。

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，特别涉及一种障碍检测装置及方法。

背景技术

由于半导体制造工艺的复杂性，半导体制造设备需要连接各种管道。例如，在制造半导体器件的无尘间内，半导体制造设备区域的下方、上方、以及半导体制造设备的背面会布满各类管道线路。

由于管道分布错综复杂，当进行新管道的安装时，需要先判断哪一些区域为可以加装管道的区域，即判断哪些区域没有障碍物。目前是以肉眼判断哪块区域可以加装管道，但是肉眼判断准确性不高，且耗费人力成本和时间，影响安装效率。

为此，亟需提供一种障碍检测装置，能够快速准确的检测目标区域是否有障碍物。

发明内容

本发明实施例解决的技术问题为提供一种障碍检测装置及检测方法，以便于快速准确的检测待测区域是否有障碍物。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供一种障碍检测装置，包括：支撑座、与支撑座相连的检测臂，检测臂上设置有至少一个检测信号发射器；检测信号发射器用于在障碍检测时发出沿预设方向传输的检测光信号。

另外，检测臂上设置有第一滑轨，且检测信号发射器可移动的设置于第一滑轨上；或检测臂上设置有可移动的卡接部件且检测信号发射器设置于卡接部件上。通过移动检测信号发射器的位置使检测的范围更加灵活。

另外，还包括：第一控制器，第一控制器适于控制检测信号发射器在沿平行于检测臂延伸方向上移动。

另外，检测臂适于绕支撑座的中心轴线转动；还包括：第二控制器，第二控制器适于控制检测臂按照预设条件转动。实现检测臂自动旋转，使检测方式更加灵活，且更适于检测管径的安装范围内是否含有障碍物。

另外，还包括：第二滑轨，第二滑轨绕支撑座设置，检测臂可移动的设置于第二滑轨上。

另外，检测臂的数量为多个，相邻检测臂以预设的夹角依次环列。多个检测臂使检测范围扩大且更适于检测管径的安装范围内是否含有障碍物。

另外，还包括支撑座上的角度刻度盘，用于在检测到障碍物时确定检测臂的延伸方向。进一步确定障碍物的方位，适于准确调整到没有障碍物影响的位置。

另外，还包括：检测系统，用于基于检测光信号的传输情况判断是否具有障碍物。

另外，检测系统包括：光接收部件，光接收部件设置在检测光信号的传输方向上，光接收部件用于接收检测光信号；第一处理器，用于基于光接收部件接收的检测光信号的数量与检测信号发射器发出的检测光信号的数量之间的差异，或基于光接收部件接收的检测光信号的持续时长与检测信号发射器发出的检测光信号的持续时长之间的差异，判断是否具有障碍物。通过处理器直接判断，节省人力成本，提高用户体验。

另外，检测系统包括：检测信号接收器，检测信号接收器设置在检测臂上，用于接收检测光信号的反射光信号；第二处理器，用于基于发出检测光信号与接收反射光信号的时间间隔，确定障碍物相对于检测臂的距离。单侧检测更加人性化，并且自动检测出障碍物的距离，进一步提高检测效果。

另外，支撑座底部还设置有多个调平支架，各调平支架上分别设置有调平旋钮，调平旋钮用于调节相应调平支架的高度以使检测臂水平。进一步保证测试准确度。

另外，还包括水平检测系统，用于检测检测臂是否处于水平。