[发明专利]一种砷化镓背侵的去除方法在审
| 申请号： | 201910831475.8 | 申请日： | 2019-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN110373720A | 公开（公告）日： | 2019-10-25 |
| 发明（设计）人： | 宋向荣;周铁军;马金峰;严卫东;唐林锋;刘火阳 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/42 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋静娜 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 砷化镓晶片 去除 清洗 化学腐蚀液 加工工序 去离子水 研磨 抛光 砷化镓 冲洗 过氧化氢 氢氧化钾 氢氧化钠 有机溶剂 浸没 浸洗 腐蚀 | ||
1.一种砷化镓背侵的去除方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
(1)将砷化镓晶片在有机溶剂中浸洗后用去离子水冲洗；
(2)将步骤(1)处理后的砷化镓晶片浸没在化学腐蚀液中腐蚀清洗，所述化学腐蚀液包括碱、过氧化氢和水，所述碱为氢氧化钾或者氢氧化钠；
(3)将步骤(2)处理后的砷化镓晶片用去离子水冲洗后干燥。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述化学腐蚀液中碱的质量浓度为3％-15％，化学腐蚀液中过氧化氢的质量浓度为2％-20％。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述化学腐蚀液中过氧化氢的质量浓度为4％-8％。
4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，化学腐蚀液中碱的质量浓度为5％-10％。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，腐蚀清洗的时间为1分钟-5分钟，腐蚀清洗的温度为10℃-20℃。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述有机溶剂为乙醇或者乙醇水溶液。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，有机溶剂中浸洗的时间为20min-30min，浸洗的温度为10℃-40℃。
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(1)中，去离子水冲洗的方式为溢流漂洗、快排冲水相结合。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤(2)中，腐蚀清洗的方式为匀速震荡腐蚀清洗、兆声波辅助腐蚀清洗或者超声波辅助腐蚀清洗。
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