[发明专利]一种高导热片及其制备方法有效
| 申请号: | 201910821748.0 | 申请日: | 2019-09-02 |
| 公开(公告)号: | CN110511729B | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
| 发明(设计)人: | 李峰;周步存;周仁杰;卢静;王兆成 | 申请(专利权)人: | 常州富烯科技股份有限公司 |
| 主分类号: | C09K5/14 | 分类号: | C09K5/14;H01L23/373 |
| 代理公司: | 北京世衡知识产权代理事务所(普通合伙) 11686 | 代理人: | 肖淑芳 |
| 地址: | 213100 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 导热 及其 制备 方法 | ||
1.一种高导热片的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:
提升石墨原膜的粗糙度至1.5-3μm;和
将绝缘材料包覆在石墨原膜的表面;
所述提升石墨原膜的粗糙度的方法采用粒径为1-2μm的玻璃微珠进行喷砂;所述石墨原膜的厚度为1mm;包覆的绝缘材料的厚度为2-5μm;
所述将绝缘材料包覆在石墨原膜的表面的方法为:采用磁控溅射的方法将靶材氧化铝陶瓷沉积到石墨原膜表面,形成高导热片。
2.根据权利要求1所述的高导热片的制备方法,其特征在于,提升石墨原膜的粗糙度之前,先对石墨原膜清洗、干燥。
3.根据权利要求2所述的高导热片的制备方法,其特征在于,采用十二烷基苯磺酸钠、十六烷基三甲基溴化铵或水做清洗剂进行清洗。
4.根据权利要求2所述的高导热片的制备方法,其特征在于,采用超声波对石墨原膜清洗。
5.根据权利要求1所述的高导热片的制备方法,其特征在于,采用磁控溅射的方法将靶材氧化铝陶瓷沉积时的真空压力≤10-3Pa,温度为200-300℃。
6.根据权利要求1所述的高导热片的制备方法,其特征在于,包覆的绝缘材料的厚度为3μm。
7.根据权利要求1所述的高导热片的制备方法,其特征在于,所述石墨原膜包括石墨烯导热膜、人工石墨导热膜、天然石墨导热膜或高定向热解石墨导热膜。
8.根据权利要求7所述的高导热片的制备方法,其特征在于,所述石墨原膜采用石墨烯导热膜。
9.一种高导热片,其特征在于,采用权利要求1-8任一项所述方法制备而成,包括石墨原膜和包覆在石墨原膜表面的绝缘材料,石墨原膜在与绝缘材料的结合处的粗糙度为1.5-3μm。
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