[发明专利]阵列基板及显示装置有效

专利信息
申请号: 201910813497.1 申请日: 2019-08-30
公开(公告)号: CN110610948B 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 赵慧慧;何家庆 申请(专利权)人: 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L27/32
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 阵列 显示装置
【说明书】:

发明提供了一种阵列基板及显示装置。所述阵列基板中包括衬底层、功能结构层、钝化层以及有机平坦层,所述功能结构层中具有有机填充层,所述钝化层设于所述有机填充层和所述有机平坦层之间。所述钝化层能提高有机填充层和有机平坦层之间的结合力,防止有机平坦层脱落,降低报废率,提高良品率。

技术领域

本发明涉及显示领域,特别是一种阵列基板及显示装置。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Diode,有机发光二极管),是一种新兴的平板显示技术。OLED显示技术与传统的LCD显示方式不同,其无需背光灯,采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板,当有电流通过时,这些有机材料就会发光。由于其具有制备工艺简单、成本低、功耗低、发光亮度高、工作温度适应范围广、体积轻薄、响应速度快,而且易于实现彩色显示和大屏幕显示、易于实现和集成电路驱动器相匹配、易于实现柔性显示等优点,因而具有广阔的应用前景。

随着OLED技术的高速发展,市场对柔性可弯折的显示屏需求日益加剧。由于TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)基板中无机膜及金属膜层抗弯折能力较差,在产品内弯外弯时存在裂纹的情况,导致产品性能不佳。由于有机材料的杨氏模量小,柔韧性佳,基于此,出现了ODH(Organic Deep Hole Materia)技术,即在无机膜层中进行挖孔设计,孔内使用杨氏模量小的有机材料进行填充,有机层的存在大大增加了产品的抗弯性能。

在现有的TFT基板结构中中,会在ODH膜层上做一层金属膜,然后在金属膜层上面再覆盖一层有机材料作为平坦层(Planarization layer,PLN)。但是,由于ODH膜层因受源漏极的干燥程序的影响,表面会形成C-F键,偏向疏水,而PLN膜层湿膜偏向亲水,导致PLN膜层难以附着在ODH膜层上,从而导致出现PLN膜层脱落问题,该异常发生率高达100%,显示装置中出现该问题就只能报废处理,严重影响产品良率。

发明内容

本发明的目的是提供一种阵列基板及显示装置,以解决现有技术中有机填充膜层与平坦层之间附着力差,从而导致出现平坦膜层脱落,进而使显示装置报废率提高,良品率低等问题。

为实现上述目的,本发明提供一种阵列基板,所述阵列基板中包括衬底层、功能结构层、钝化层以及有机平坦层。

所述功能结构层设于所述衬底层上。在所述功能结构层中具有有机填充层,所述有机填充层的材料为有机物。所述钝化层设于所述功能结构层的所述有机填充层上。所述钝化层中具有亲水物质或基团和/或疏水物质或基团。在所述阵列基板中可以设置一层或多层所述钝化层。所述有机平坦层设于所述钝化层远离所述功能结构层的一表面上。

进一步地,所述功能结构层中还包括阻隔层、缓冲层、有源层、第一绝缘层、第一栅极层、第二绝缘层、第二栅极层、介电层以及源漏极层。

所述阻隔层设于所述衬底层上。所述缓冲层设于所述阻隔层上。所述有源层设于所述缓冲层上。所述第一绝缘层设于所述有源层和所述缓冲层的上。所述第一栅极层设于所述第一绝缘层上。所述第二绝缘层设于所述第一栅极层和所述第一绝缘层上。所述第二栅极层设于所述第二绝缘层上。所述介电层设于所述第二栅极层和所述第二绝缘层上。所述源漏极层设于所述介电层上,并穿过所述介电层、所述第二绝缘层和所述第一绝缘层与所述有源层的两端连接。其中,所述有机填充层设于所述介电层和所述源漏极层之间。

进一步地,所述有机填充层具有延伸部和垂直部。所述延伸部覆于所述介电层上。所述垂直部垂直连接于所述延伸部,并穿过所述介电层、所述第二绝缘层、所述第一绝缘层、所述缓冲层和部分阻隔层。

进一步地,所述阵列基板具有功能区和包围所述功能区的非功能区。所述有机填充层的延伸部设于所述非功能区内,所述有源层、所述第一栅极层、所述第二栅极层和所述源漏极层设于所述功能区内。

进一步地,当所述钝化层为单层结构时,所述钝化层中具有亲水物质或基团。

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