[发明专利]取放对位装置及其方法

说明书

一种取放对位装置，其具有：一视觉影像撷取模块；一取放单元，设于视觉影像撷取模块的下方；一载具，设于取放单元的下方；以及一光源模块，设于载具的下方；其中，光源模块由下往上照射载具，视觉影像撷取模块穿视取放单元，以撷取载具的影像信息。光源单元将一亮光由下往上照射至载具，视觉影像撷取模块穿视取放单元，以撷取载具的影像信息，以此达到精准对位的效果，以利后续制程的进行。

技术领域

本发明涉及一种能够将亮光由下往上照射位于上方的载具，而使一影像撷取模块能够清晰地撷取载具的影像信息，以此达到精准地对位效果。

背景技术

现有的晶粒吸取的实施方式为一光源模块设于相邻一视觉影像撷取模块或设于视觉影像撷取模块的下方；光源模块将一亮光照射至一晶粒承载盘，以使位于晶粒承载盘的晶粒产生反射光，视觉影像撷取模块撷取反射光或晶粒的影像信息；影像信息传送给一取放装置，以使取放装置由晶粒承载盘取出一晶粒，再将晶粒放置于另一位置，以进行下一制程。

虽上述晶粒取放方式为各厂商所使用，但仍存有数个问题。第一，若取放模块移动至欲吸取的晶粒上方时，取放模块会挡住视觉影像撷取模块的视野，而使视觉影像撷取模块无法有效地撷取晶粒的影像信息，可能造成取放模块无法精准对位晶粒的位置，进而造成于后续制程中因对位缺失所造成的制程缺陷。第二，现有的光源模块皆由上方将亮光投射至位于下方的晶粒，故视觉影像撷取模块所撷取的影像信息可能为模糊的，而使取放模块无法有效地对位晶粒的位置。

除了上述晶粒外，更包含有覆晶基板、IC基板、LED散热基板、LED蓝宝石基板、玻璃基板、陶瓷基板、铜箔基板或晶圆（Wafer），而目前业界通称前述组件为基板。故现有的基板皆有被上述的模块取放的可能性。

如上所述，因取放模块所在的位置与光源模块提供亮光的方式，可能影响基板的对位，进而造成后续制程的不准确性，故如何提高基板对位的精准度就成为各厂商所研究的题目。

因此，如何解决上述现有技术存在的不足，便成为本发明所要研究解决的课题。

发明内容

本发明目的是提供一种取放对位装置及其方法。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种取放对位装置，具有：

一视觉影像撷取模块；

一取放单元，设于所述视觉影像撷取模块的下方；

一载具，设于所述取放单元的下方；以及

一光源模块，设于所述载具的下方；

其中，所述光源模块由下往上照射所述载具，所述视觉影像撷取模块穿视所述取放单元，以撷取载具的影像信息。

上述技术方案中的有关内容解释如下：

1、上述方案中，更具有一透明体，该透明体设于所述取放单元的顶端。

2、上述方案中，所述视觉影像撷取模块为一电荷耦合装置；所述透明体为一玻璃或一透镜。

3、上述方案中，所述取放单元耦接一正负压模块。

4、上述方案中，所述正负压模块包括抽气马达与供气马达。

5、上述方案中，更具有一载具位移单元，该载具位移单元设于所述取放单元的下方，所述光源单元设于该载具位移单元的下方。

6、上述方案中，所述载具位移单元包括一滚轮装置、一机械夹座、一线性滑轨、一履带结构或一轨道结构。

7、上述方案中，更具有一位移模块，该位移模块耦接所述视觉影像撷取模块。

8、上述方案中，所述位移模块包括一履带结构、一线性滑轨或一轨道结构。