[发明专利]取放对位装置及其方法在审
| 申请号: | 201910799370.9 | 申请日: | 2019-08-28 |
| 公开(公告)号: | CN110676202A | 公开(公告)日: | 2020-01-10 |
| 发明(设计)人: | 黄良印;林语尚 | 申请(专利权)人: | 苏州均华精密机械有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/687;H01L21/68 |
| 代理公司: | 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 马明渡;陈昊宇 |
| 地址: | 215101 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 载具 取放单元 视觉影像 撷取模块 光源模块 影像信息 撷取 照射 光源单元 精准对位 制程 亮光 | ||
1.一种取放对位装置,其特征在于:
具有:
一视觉影像撷取模块;
一取放单元,设于所述视觉影像撷取模块的下方;
一载具,设于所述取放单元的下方;以及
一光源模块,设于所述载具的下方;
其中,所述光源模块由下往上照射所述载具,所述视觉影像撷取模块穿视所述取放单元,以撷取载具的影像信息。
2.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:更具有一透明体,该透明体设于所述取放单元的顶端。
3.根据权利要求2所述的取放对位装置,其特征在于:所述视觉影像撷取模块为一电荷耦合装置;所述透明体为一玻璃或一透镜。
4.根据权利要求2所述的取放对位装置,其特征在于:所述取放单元耦接一正负压模块。
5.根据权利要求4所述的取放对位装置,其特征在于:所述正负压模块包括抽气马达与供气马达。
6.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:更具有一载具位移单元,该载具位移单元设于所述取放单元的下方,所述光源单元设于该载具位移单元的下方。
7.根据权利要求6所述的取放对位装置,其特征在于:所述载具位移单元包括一滚轮装置、一机械夹座、一线性滑轨、一履带结构或一轨道结构。
8.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:更具有一位移模块,该位移模块耦接所述视觉影像撷取模块。
9.根据权利要求8所述的取放对位装置,其特征在于:所述位移模块包括一履带结构、一线性滑轨或一轨道结构。
10.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:所述光源模块包括一可见光源、一不可见光源、一红外光源、一紫外光源、一特殊光源,一卤素灯源、一发光二极管灯源或常规照明光源。
11.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:所述光源模块设于所述载具的内部的底端。
12.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:所述载具为一托盘或一连续膜体;或者,所述载具为一透明体,该载具的顶端具有一记号;或者,所述载具具有数个容置部与数个透孔,各透孔相通容置部。
13.根据权利要求6所述的取放对位装置,其特征在于:更具有一第一视觉影像撷取单元,该第一视觉影像撷取单元位于所述载具位移单元的上方,该第一视觉影像撷取单元撷取位于所述载具的一记号的影像信息。
14.一种取放对位方法,其特征在于:其步骤包含有:
提供一亮光给一载具,该亮光由下往上照射所述载具;
一视觉影像撷取模块穿视一取放单元,以撷取所述载具的影像信息;以及
一取放单元依据所述影像信息,并移动至一默认位置,而将一基板放置于所述载具;或者所述取放单元依据所述影像信息,并移动至所述默认位置,并将所吸取的所述基板放置于所述载具。
15.根据权利要求14所述的取放对位方法,其特征在于:所述载具于一载具位移单元的顶端移动,该载具位移单元的下方设有一光源单元,该光源单元将所述亮光由下往上照射至所述载具。
16.根据权利要求14所述的取放对位方法,其特征在于:所述载具内部的底端设有一光源单元,该光源单元将所述亮光由下往上照射至所述载具。
17.根据权利要求14所述的取放对位方法,其特征在于:所述取放单元的顶端设有一透明体,所述视觉影像撷取模块透过该透明体,以穿视所述取放单元,进而撷取所述基板的影像信息。
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