[发明专利]取放对位装置及其方法在审

专利信息
申请号: 201910799370.9 申请日: 2019-08-28
公开(公告)号: CN110676202A 公开(公告)日: 2020-01-10
发明(设计)人: 黄良印;林语尚 申请(专利权)人: 苏州均华精密机械有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687;H01L21/68
代理公司: 32103 苏州创元专利商标事务所有限公司 代理人: 马明渡;陈昊宇
地址: 215101 江苏省苏州*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 载具 取放单元 视觉影像 撷取模块 光源模块 影像信息 撷取 照射 光源单元 精准对位 制程 亮光
【权利要求书】:

1.一种取放对位装置,其特征在于:

具有:

一视觉影像撷取模块;

一取放单元,设于所述视觉影像撷取模块的下方;

一载具,设于所述取放单元的下方;以及

一光源模块,设于所述载具的下方;

其中,所述光源模块由下往上照射所述载具,所述视觉影像撷取模块穿视所述取放单元,以撷取载具的影像信息。

2.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:更具有一透明体,该透明体设于所述取放单元的顶端。

3.根据权利要求2所述的取放对位装置,其特征在于:所述视觉影像撷取模块为一电荷耦合装置;所述透明体为一玻璃或一透镜。

4.根据权利要求2所述的取放对位装置,其特征在于:所述取放单元耦接一正负压模块。

5.根据权利要求4所述的取放对位装置,其特征在于:所述正负压模块包括抽气马达与供气马达。

6.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:更具有一载具位移单元,该载具位移单元设于所述取放单元的下方,所述光源单元设于该载具位移单元的下方。

7.根据权利要求6所述的取放对位装置,其特征在于:所述载具位移单元包括一滚轮装置、一机械夹座、一线性滑轨、一履带结构或一轨道结构。

8.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:更具有一位移模块,该位移模块耦接所述视觉影像撷取模块。

9.根据权利要求8所述的取放对位装置,其特征在于:所述位移模块包括一履带结构、一线性滑轨或一轨道结构。

10.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:所述光源模块包括一可见光源、一不可见光源、一红外光源、一紫外光源、一特殊光源,一卤素灯源、一发光二极管灯源或常规照明光源。

11.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:所述光源模块设于所述载具的内部的底端。

12.根据权利要求1所述的取放对位装置,其特征在于:所述载具为一托盘或一连续膜体;或者,所述载具为一透明体,该载具的顶端具有一记号;或者,所述载具具有数个容置部与数个透孔,各透孔相通容置部。

13.根据权利要求6所述的取放对位装置,其特征在于:更具有一第一视觉影像撷取单元,该第一视觉影像撷取单元位于所述载具位移单元的上方,该第一视觉影像撷取单元撷取位于所述载具的一记号的影像信息。

14.一种取放对位方法,其特征在于:其步骤包含有:

提供一亮光给一载具,该亮光由下往上照射所述载具;

一视觉影像撷取模块穿视一取放单元,以撷取所述载具的影像信息;以及

一取放单元依据所述影像信息,并移动至一默认位置,而将一基板放置于所述载具;或者所述取放单元依据所述影像信息,并移动至所述默认位置,并将所吸取的所述基板放置于所述载具。

15.根据权利要求14所述的取放对位方法,其特征在于:所述载具于一载具位移单元的顶端移动,该载具位移单元的下方设有一光源单元,该光源单元将所述亮光由下往上照射至所述载具。

16.根据权利要求14所述的取放对位方法,其特征在于:所述载具内部的底端设有一光源单元,该光源单元将所述亮光由下往上照射至所述载具。

17.根据权利要求14所述的取放对位方法,其特征在于:所述取放单元的顶端设有一透明体,所述视觉影像撷取模块透过该透明体,以穿视所述取放单元,进而撷取所述基板的影像信息。

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