[发明专利]晶舟及使用晶舟的炉管机台以及形成膜层的方法

权利要求书

1.一种晶舟，其特征在于，包含：

至少一支撑件，沿一第一方向延伸；以及

至少一组的至少一第一固定件、至少一组的至少一第二固定件以及至少一组的至少一第三固定件，设置于该支撑件上且于该第一方向上依序并分开地设置，其中该组的该第一固定件与该组的该第二固定件间分隔一第一间距，该组的该第二固定件与该组的该第三固定件间分隔一第二间距，其中该第一间距小于该第二间距。

2.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，其中该第一固定件、该第二固定件以及该第三固定件是设置于该支撑件上的多个开槽。

3.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，其中该第一固定件、该第二固定件以及该第三固定件是自该支撑件延伸的多个支撑钉。

4.根据权利要求1所述的晶舟，其特征在于，还包含：

一底板；以及

一顶板，位于该底板上方，其中该支撑件连接于该底板与该顶板之间。

5.一种炉管机台，其特征在于，包含：

一制程容器，包含：

一反应室，其中该反应室具有一第一端与相对于该反应室的该第一端的一第二端；

一气体入口，位于该反应室的该第一端；以及

一气体出口，位于该反应室的该第二端；以及

一晶舟，位于该反应室，其中该晶舟包含一第一固定件、一第二固定件以及一第三固定件，该第一固定件、该第二固定件以及该第三固定件沿着从该反应室的该第一端至该反应室的该第二端的一方向依序并分开地设置，其中该第一固定件与该第二固定件间分隔一第一间距，该第二固定件与该第三固定件间分隔一第二间距，其中该第一间距小于该第二间距。

6.根据权利要求5所述的炉管机台，其特征在于，其中该第一固定件、该第二固定件以及该第三固定件是多个开槽。

7.根据权利要求5所述的炉管机台，其特征在于，其中该晶舟包含一支撑件，且该第一固定件、该第二固定件以及该第三固定件是自该支撑件延伸的多个支撑钉。

8.根据权利要求5所述的炉管机台，其特征在于，其中该气体出口是位于该气体入口的上方。

9.一种形成膜层的方法，其特征在于，包含：

在一腔室中，依序地放置一第一晶圆、一第二晶圆以及一第三晶圆，其中该第一晶圆与该第二晶圆间分隔一第一间距，该第二晶圆与该第三晶圆间分隔一第二间距，其中该第一间距小于该第二间距；

引入至少一制程气体，其中该制程气体依序经过该腔室中的该第一晶圆、该第二晶圆以及该第三晶圆。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，其中引入该制程气体是经由一气体入口引入该制程气体，其中该气体入口与该第一晶圆之间的一第一距离小于该气体入口与该第二晶圆之间的一第二距离。