[发明专利]一种晶圆片去胶机

说明书

本发明公开了一种晶圆片去胶机，其结构包括机架、电控箱、控制台、控制器、清洗台、清洗槽、盖板，机架的正面上设有电控箱，清洗台位于机架的后端，清洗台的正面前面安装有控制台，控制台上设有控制器，清洗台的中间设有清洗槽，清洗槽上方的开口与盖板活动连接；有益效果：本发明在盖板的背面上设有四组的收集扇叶，收集扇叶为中空的喇叭型的空腔结构，方便浮渣进入到收集扇叶中；收集扇叶中活动安装有集料柜，集料柜与收纳槽为滑动配合，抽取槽将集料柜从收纳槽取出，方便对浮渣进行处理；集料柜的末端处设有过滤网与弹性条，弹性条可以使过滤网发生形变，容纳更多的浮渣。

技术领域

本发明是一种晶圆片去胶机，属于晶圆加工设备技术领域。

背景技术

晶圆在集成电路中制造中扮演者重要的角色，它是制造半导体芯片的基本材料，晶圆片可加工制成各种电路元件的结构，在晶圆片投入使用之前需要对其进行清洗，在清洗过程中存在以下不足：

在晶圆片表面容易产生各种各样的污染物，包括一些光刻胶、有机物、金属和颗粒物等，在浸泡清洗过程中，由于溶液震荡对晶圆片上的污染物进行清洗，污染物容易以气泡和浮渣的形式漂浮在溶液表面上，取出晶圆片容易再次污染。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种晶圆片去胶机，以解决。

为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种晶圆片去胶机，其结构包括机架、电控箱、控制台、控制器、清洗台、清洗槽、盖板，所述机架的正面上设有电控箱，所述清洗台位于机架的后端，所述清洗台的正面前面安装有控制台，所述控制台上设有控制器，所述清洗台的中间设有清洗槽，所述清洗槽上方的开口与盖板活动连接；

所述盖板的背面包括旋转电机、除渣装置和旋转轴，所述旋转电机通过螺栓垂直安装在盖板背面的中间上，所述旋转轴与旋转电机通过联轴器相连接，所述旋转轴上均匀等距设有四组的除渣装置。

作为优选的，所述除渣装置由收集扇叶、收纳槽、通口组成，所述收集扇叶的前端开有收纳槽且最窄的一侧开有通口。

作为优选的，所述收集扇叶为喇叭型的空腔结构，其开口最大的一端为内凹的弧形状且底边设有导料板。

作为优选的，所述收纳槽内部活动安装有集料柜，所述集料柜的形状与收纳槽的轮廓形状一致，且两者之间滑动配合。

作为优选的，所述集料柜由抽取槽、弹性条、过滤网、滑条组成，所述集料柜的前侧板的最长边中间开有抽取槽，前后两端的短边上连接有一根弹性条，所述弹性条之间连接有过滤网，所述集料柜的上下两侧板上分别设有两条的滑条。

作为优选的，所述收纳槽的上下内壁上均开有两条的滑轨，滑轨与所述的滑条滑动配合。

作为优选的，所述集料柜上的过滤网位于通口内，在弹性条的作用下，过滤网可自由伸缩。

作为优选的，所述盖板为透明的材质，方便观察清洗槽中晶圆片清洗状态

有益效果

本发明一种晶圆片去胶机，具有以下效果：

本发明在盖板的背面上设有四组的收集扇叶，收集扇叶为中空的喇叭型的空腔结构，方便浮渣进入到收集扇叶中；

本发明在收集扇叶中活动安装有集料柜，集料柜与收纳槽为滑动配合，抽取槽将集料柜从收纳槽取出，方便对浮渣进行处理；

本发明在集料柜的末端处设有过滤网与弹性条，弹性条可以使过滤网发生形变，容纳更多的浮渣。

附图说明

通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本发明的其它特征、目的和优点将会变得更明显：