[发明专利]晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法有效

专利信息
申请号: 201910788131.3 申请日: 2019-08-26
公开(公告)号: CN110504000B 公开(公告)日: 2021-04-13
发明(设计)人: 唐鹿俊;郑鹏飞 申请(专利权)人: 上海华力集成电路制造有限公司
主分类号: G11C29/00 分类号: G11C29/00;G01R31/28
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201315 上海市浦东新区中国(上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 晶圆级 测试 识别 探针 信息 方法
【说明书】:

发明公开了一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法,步骤1、设计制作一块探针卡,在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片;步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成;步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息判断是否为匹配的探针卡。本发明能最大限度地减少换错探针卡所带来的损失,测试机能够自动获取探针卡存储芯片里的正确信息。

技术领域

本发明涉及半导体集成电路领域,特别是涉及一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法。

背景技术

在集成电路芯片测试领域,测试机上建立晶圆级芯片测试能力的方法是为一种芯片定制一块探针卡,测试机探针卡上面通过金属触点与测试机负载板相连接,其底面通过探针与芯片管脚相连接,使其成为测试机信号通道与被测芯片管脚之间连接的桥梁,进而应用于芯片封装前对芯片电学性能进行初步测量,筛选出不良芯片后,再进行之后的封装工程。所以当测试不同的芯片时,必须换上对应的探针卡进行测试,那么识别所更换探针卡的正确性就尤为重要。

晶圆级芯片测试中,为了确保所用探针卡与所测试项目完全匹配,所以需要一种简单可靠的方法对探针卡信息进行识别。

但是,现在晶圆级芯片测试中,识别探针卡的方式是通过扫描探针卡盒子上黏贴的条形码,从探针卡管理系统中获取录入的条形码信息,进而把探针卡信息输入到测试机中。当操作人员因操作失误更换错误的探针卡后,必然会影响之后芯片的测试甚至损坏探针卡,拖慢项目进度。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法,能最大限度地减少换错探针卡所带来的损失,测试机能够自动获取探针卡存储芯片里的正确信息。

为解决上述技术问题,本发明的晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法,是采用如下技术方案实现的:

步骤1、设计制作一块探针卡,在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片;

步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成;

步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息判断是否为匹配的探针卡。

采用本发明的方法,在探针卡生产制造阶段,在探针卡上设计增加一块存储芯片用于存储探针卡信息,通过与测试算法的配合,使测试机自动获取识别探针卡信息,大幅减小因操作人员更换错误探针卡带来的风险,最大限度减小更换错误探针卡带来的探针卡损坏、机时浪费、延误项目进度等风险。

本发明的方法能够节省操作人员的操作时间,各产品测试项目之间不需要手动重新录入探针卡信息。

附图说明

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细的说明:

图1是存储芯片设计原理示意图;

图2是测试流程示意图。

具体实施方式

所述晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法,考虑到晶圆级测试中因操作人员失误放入错误的探针卡后,影响测试甚至损坏探针卡,拖慢项目进度,所以在探针卡设计阶段在探针卡内多增加一块存储芯片,该存储芯片的作用是存储探针卡的信息。

所述晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法,在下面的实施例中具体实施的过程如下:

步骤1、设计制作一块探针卡,在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片。

步骤2、开发与探针卡匹配的探针卡信息读写算法(即测试算法)。

步骤3、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成。

步骤4、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息,判断是否为匹配的探针卡。

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