[发明专利]晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法有效
申请号: | 201910788131.3 | 申请日: | 2019-08-26 |
公开(公告)号: | CN110504000B | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 唐鹿俊;郑鹏飞 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | G11C29/00 | 分类号: | G11C29/00;G01R31/28 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 戴广志 |
地址: | 201315 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶圆级 测试 识别 探针 信息 方法 | ||
1.一种晶圆级测试用测试机识别探针卡信息的方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、设计制作一块探针卡,在该探针卡中设置一块用于存储探针卡信息的存储芯片;
步骤2、使用写入算法向所述存储芯片输入正确的探针卡信息并验证完成;
写入时测试机首先将输入的探针卡信息字符数据通过ASCII码转换成二进制数据,随后测试机往存储芯片发送芯片地址和探针卡信息二进制数据,最终存储芯片在目的地址存储探针卡信息;
步骤3、使用读出算法识别存储芯片中的探针卡信息,判断是否为匹配的探针卡。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于:若探针卡被识别通过,则进行正常测试,若探针卡被识别不通过则为错误探针卡,需更换探针卡重新进行识别。
3.如权利要求1所述的方法,其特征在于:所述存储芯片A0、VCC引脚接电源,A1、A2、WP和VSS引脚接地,SCL引脚和测试机负载板的CSCL信号通道相连接,SDA引脚和测试机负载板CSDA信号通道相连接,通过测试机对存储芯片进行读写操作。
4.如权利要求1或3所述的方法,其特征在于:读出时测试机往存储芯片发送芯片地址数据,存储芯片在目的地址读出二进制数据后返回测试机,测试机通过ASCII码转换成字符数据,最后通过读出的字符数据与写入的探针卡信息相比较,判断是否为匹配的探针卡。
5.如权利要求1所述的方法,其特征在于:使用探针卡时,首先需要在验卡阶段通过写入算法往存储芯片中存入正确的探针卡信息,在以后的使用中只需要通过指定的读出算法自动读取和识别存储芯片中的探针卡信息来判断是否为匹配的探针卡,判断为正确时才会进行后续测试。
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