[发明专利]洗边装置在审
申请号: | 201910785150.0 | 申请日: | 2019-08-23 |
公开(公告)号: | CN112420548A | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 余齐兴;杨宏超;金一诺;王坚;王晖 | 申请(专利权)人: | 盛美半导体设备(上海)股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;B08B3/02;B08B13/00;B05B15/68 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 陆嘉 |
地址: | 201203 上海市浦东新*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 装置 | ||
1.一种洗边装置,其特征在于,包括:
支撑轴;
安装于支撑轴一端的驱动装置;
安装于支撑轴另一端的旋转支架;
L型支杆,包括相互连接的竖直支杆和水平支杆,竖直支杆转动安装在旋转支架的自由端,水平支杆上转动安装有喷头装置;
第一微调机构,安装在旋转支架上,用于驱动L型支杆旋转;
第二微调机构,安装在L型支杆上,用于驱动喷头装置旋转。
2.如权利要求1所述的洗边装置,其特征在于,所述第一微调机构包括:
第一固定板,安装在旋转支架上;
第一调节杆,限位在所述第一固定板内设的第一凹槽中;
第一滑块,与所述第一调节杆螺纹连接;
竖直支杆上开设有第一开孔,第一滑块上设有第一凸块,第一凸块与第一开孔滑动连接;
当旋转第一调节杆时,第一滑块沿第一凹槽移动,并由第一凸块推动L型支杆相对旋转支架转动。
3.如权利要求2所述的洗边装置,其特征在于,所述第一微调机构还包括:
第一指针,固定安装在第一固定板上;
第一角度标尺,标识在竖直支杆上,所述第一指针指向第一角度标尺。
4.如利要求2所述的洗边装置,其特征在于,所述竖直支杆上还开设有第二开孔,第二开孔为圆弧形,其圆心与L型支杆的旋转中心重合;L型支杆和旋转支架之间采用紧固件穿过所述第二开孔相连。
5.如权利要求1所述的洗边装置,其特征在于,所述第二微调机构包括:
第二固定板,安装在L型支杆上;
第二调节杆,限位在所述第二固定板内设的第二凹槽中;
第二滑块,与所述第二调节杆螺纹连接;
喷头装置具有壳体,第二滑块上设有第二凸块,第二凸块与所述壳体相连;
当旋转第二调节杆时,第二滑块沿第二凹槽移动,并由第二凸块推动壳体以使喷头装置相对水平支杆转动。
6.如权利要求5所述的洗边装置,其特征在于,所述第二微调机构还包括:
第二指针,固定安装在壳体上;
第二角度标尺,标识在水平支杆上,所述第二指针指向第二角度标尺。
7.如权利要求5所述的洗边装置,其特征在于,所述水平支杆上还开设有圆孔,以及围绕圆孔均布的至少一个圆弧槽口,圆弧槽口与圆孔同心布置,所述喷头装置转动安装在圆孔内,且喷头装置和水平支杆之间采用固定件穿过所述圆弧槽口相连。
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