[发明专利]一种透明石英片的传片装置及其传片方法

说明书

本发明公开了一种透明石英片的传片装置，包括机座，机座上设置有工作平台，工作平台上设置有避让缺口，避让缺口处设置有支撑座，支撑座上竖直滑动安装有由竖直动力装置驱动的升降架，升降架上设置有用于支撑放置片盒的左放置板和右放置板，左放置板和右放置板之间间隔设置形成了检测空间，检测空间处安装了检测片盒中的石英片的检测装置，检测装置包括安装于所述支撑座上的喷嘴安装座，喷嘴安装座上设置有向上喷吹的喷嘴，喷嘴处于检测空间的石英片的下方，喷嘴与供气系统之间通过供气管道连接，该供气管道上设置有压力传感器；机座上还设置有取片机构，该装置可以准确完成传片动作。

技术领域

本发明涉及一种传片装置及其传片方法，属于半导体技术领域，用于对透明石英片的传片。

背景技术

在半导体的生产过程中，一般是使用的不透明的硅片作为加工对象，而这种硅片被放置在片盒中，利用传片装置进行传片使其逐片取走送至下一道工序中。而目前的传片装置需要对片盒内的硅片位置进行识别，确保硅片处于待取片工位时才可以准确的传片。而由于硅片为不透明的材质，因此，一般都是利用光线反射来识别硅片是否到位，但是随着透明石英片的投入使用，上述的传片装置就无法准确的识别，这样就会导致传片动作不准确。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：提供一种透明石英片的传片装置，该传片装置可以准确的识别透明石英片的位置，从而准确的完成传片动作。

本发明所要解决的另一个技术问题是：提供一种透明石英片的传片方法，该传片方法使用了上述的传片装置，可以准确识别透明石英片，进而准确的完成传片动作。

为解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种透明石英片的传片装置，包括机座，所述机座上设置有工作平台，该工作平台上设置有避让缺口，避让缺口处设置有支撑座，该支撑座上竖直滑动安装有由竖直动力装置驱动的升降架，该升降架上设置有用于支撑放置片盒的左放置板和右放置板，该左放置板和右放置板之间间隔设置形成了检测空间，检测空间处安装了利用气体压力变化来检测片盒中的石英片的检测装置，检测装置包括安装于所述支撑座上的喷嘴安装座，该喷嘴安装座上设置有向上喷吹的喷嘴，该喷嘴处于检测空间的石英片的下方，该喷嘴与供气系统之间通过供气管道连接，该供气管道上设置有用于检测供气管道压力的压力传感器；机座上还设置有用于将片盒最底部的石英片取出的取片机构。

作为一种优选的方案，喷嘴安装座包括第一安装板和第二安装板，第一安装板上设置有第一安装条孔，第二安装板上设置有第二安装条孔，第一安装条孔和第二安装条孔的延伸方向不同，第一安装板通过约束于第一安装条孔内的螺钉固定于支撑座的顶部，第二安装板通过约束于第二安装条孔内的螺钉固定于第一安装板上，喷嘴固定在第二安装板上。

作为一种优选的方案，第一安装条孔和第二安装条孔相互垂直，所述第一安装条孔的长度长于第二安装条孔，所述支撑座上设置有伸至第一安装条孔内的导向轴。

作为一种优选的方案，左放置板和右放置板上均设置有用于分别定位片盒左端和右端的左定位结构和右定位结构。

作为一种优选的方案，左定位结构和右定位结构相同，其中左定位结构包括两条平行的条状定位筋，该条状定位筋上设置有分别与片盒左端凸台卡装的卡装缺口，所述左放置板的前后端还设置有约束片盒前端和后端的前限位凸起和后限位凸起。

作为一种优选的方案，左放置板上的条状定位筋上还设置有安装缺口，该安装缺口处设置有接触弹片，该接触弹片的一端为自由端且向上翘起，接触弹片的另一端固定在左放置板上，该左放置板上位于接触弹片的下方设置有接触开关。

作为一种优选的方案，取片机构包括滑动安装于工作平台上的滑台，该滑台由直线动力装置驱动，滑台上偏转安装有由偏转动力装置驱动的偏转座，该偏转座上安装有由升降动力装置驱动的取片板，该取片板上设置有负压孔和负压通道，该负压通道与负压系统连通。