[发明专利]柔性衬底溢出气体检测方法在审
| 申请号: | 201910766122.4 | 申请日: | 2019-08-19 |
| 公开(公告)号: | CN110487930A | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
| 发明(设计)人: | 李夫 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G01N30/02 | 分类号: | G01N30/02;G01N30/72;G01N5/04;G01N27/62;H01L21/66 |
| 代理公司: | 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 | 代理人: | 林才桂;王中华<国际申请>=<国际公布> |
| 地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 第二检测 衬底 气体检测 溢出 测试柔性 检测结果 目标检测 检测 两次检测 全面性 截取 记录 | ||
本发明提供一种柔性衬底溢出气体检测方法。该方法包括如下步骤:步骤S1、提供一待测试柔性衬底,截取所述待测试柔性衬底中相邻的两个部分,分别作为第一样品和第二样品;步骤S2、采用第一检测方法对所述第一样品进行溢出气体检测,得到第一检测结果;步骤S3、采用第二检测方法对所述第二样品进行溢出气体检测,得到第二检测结果,所述第二检测方法不同于第一检测方法;步骤S4、记录第一检测结果和第二检测结果,并以第一检测结果和第二检测结果共同作为目标检测结果,通过采用两种不同检测方法对待测试柔性衬底的两块样品进行两次检测,得到目标检测结果,能够提升柔性衬底溢出气体检测的准确性及全面性。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性衬底溢出气体检测方法。
背景技术
有机发光二极管显示(Organic Light Emitting Display,OLED)器件由于同时具备自发光,不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制程较简单等优异特性,被认为是下一代平面显示器的新兴应用技术。
OLED显示器件通常包括:基板、设于基板上的阳极、设于阳极上的空穴注入层、设于空穴注入层上的空穴传输层、设于空穴传输层上的发光层、设于发光层上的电子传输层、设于电子传输层上的电子注入层、及设于电子注入层上的阴极。OLED显示器件的发光原理为半导体材料和有机发光材料在电场驱动下,通过载流子注入和复合导致发光。具体的,OLED显示器件通常采用ITO像素电极和金属电极分别作为器件的阳极和阴极,在一定电压驱动下,电子和空穴分别从阴极和阳极注入到电子传输层和空穴传输层,电子和空穴分别经过电子传输层和空穴传输层迁移到发光层,并在发光层中相遇,形成激子并使发光分子激发,后者经过辐射弛豫而发出可见光。
随着显示行业更新换代的加速,柔性OLED显示面板成为新一代显示技术追求的方向,柔性OLED显示面板采用柔性衬底替代传统的玻璃基板以实现面板的可弯曲性,给消费者带来了颠覆性的概念,能够提升用户体验,增强产品竞争力。目前,柔性OLED显示面板的柔性衬底通常采用聚酰亚胺(Polyimide,PI)材料制作,作为柔性OLED显示面板最基础的载体,柔性衬底贯穿整个柔性OLED显示面板制备的工艺过程,柔性衬底能否在柔性OLED显示面板的各个制程中保持性质稳定并为最终产品提供良好支撑,对柔性OLED显示面板的品质影响巨大。柔性OLED显示面板的阵列(Array)制程包括多次高温处理,柔性衬底受热时会有部分气体溢出,溢出的气体量过大的话,可能导致设置于柔性衬底上的膜层或器件剥落(Peeling),进而导致制程不良。因此,准确的检测和分析柔性衬底的气体溢出(Outgassing)成分及含量,对保证柔性OLED显示面板的制程良率影响巨大,但目前对柔性衬底的气体溢出(Outgassing)成分及含量的检测还不够全面。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性衬底溢出气体检测方法,能够准确检测出柔性衬底溢出气体的总量、成分及每一成分的含量,提升柔性衬底溢出气体检测的准确性及全面性。
为实现上述目的,本发明提供一种柔性衬底溢出气体检测方法,包括如下步骤:
步骤S1、提供一待测试柔性衬底,截取所述待测试柔性衬底中相邻的两个部分,分别作为第一样品和第二样品;
步骤S2、采用第一检测方法对所述第一样品进行溢出气体检测,得到第一检测结果;
步骤S3、采用第二检测方法对所述第二样品进行溢出气体检测,得到第二检测结果,所述第二检测方法不同于第一检测方法;
步骤S4、记录第一检测结果和第二检测结果,并以第一检测结果和第二检测结果共同作为目标检测结果。
所述步骤S2中第一检测方法为程序升温脱附-质谱法,所述第一检测结果包括溢出气体总量以及溢出气体成分。
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