[发明专利]柔性衬底溢出气体检测方法

权利要求书

1.一种柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤S1、提供一待测试柔性衬底(1)，截取所述待测试柔性衬底(1)中相邻的两个部分，分别作为第一样品(10)和第二样品(20)；

步骤S2、采用第一检测方法对所述第一样品(10)进行溢出气体检测，得到第一检测结果；

步骤S3、采用第二检测方法对所述第二样品(20)进行溢出气体检测，得到第二检测结果，所述第二检测方法不同于第一检测方法；

步骤S4、记录第一检测结果和第二检测结果，并以第一检测结果和第二检测结果共同作为目标检测结果。

2.如权利要求1所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S2中第一检测方法为程序升温脱附-质谱法，所述第一检测结果包括溢出气体总量以及溢出气体成分。

3.如权利要求1所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S3中第二检测方法为热重分析-气相色谱-质谱法，所述第二检测结果包括溢出气体总量、溢出气体成分及溢出气体每一成分含量。

4.如权利要求2所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S2中采用第一检测方法对所述第一样品(10)进行溢出气体检测具体包括：

在惰性气体条件下，使得第一样品(10)程序升温至第一过渡温度，并保温第一时长；

使得第一样品(10)继续程序升温至检测温度，并保温第二时长，在保温期间，对第一样品(10)的溢出气体进行脱附分析及质谱分析，得到检测温度下的溢出气体总量以及溢出气体成分。

5.如权利要求4所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S2中第一过渡温度为100℃至200℃，第一时长为20～40分钟，检测温度为300～500℃，第二时长为50～70分钟。

6.如权利要求4所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S2中程序升温的速度为5～20℃/min。

7.如权利要求4所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述惰性气体条件为氦气条件。

8.如权利要求3所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述步骤S3中采用第二检测方法对所述第二样品进行溢出气体检测具体包括：

将第二样品(20)升温至第二过渡温度；

在第二样品(20)到达第二过渡温度后，继续使得第二样品(20)升温至目标温度，并在第二样品(20)从第二过渡温度升温至目标温度的同时对所述第二样品(20)产生的溢出气体进行热重分析、气相色谱分析及质谱分析，得到第二样品(20)产生的溢出气体总量、溢出气体的成分及每一成分的含量。

9.如权利要求8所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述第二过渡温度为250℃～300℃，目标温度为400℃～500℃。

10.如权利要求1所述的柔性衬底溢出气体检测方法，其特征在于，所述待测试柔性衬底(1)的材料为聚酰亚胺。