[发明专利]掩模版组件及其制造装置、制造方法

说明书

本发明公开了一种掩模版组件制造装置，包括第一拉伸机构和第二拉伸机构；所述掩模版组件包括至少一个掩模版；其中，所述第一拉伸机构，被配置为夹持所述掩模版沿第一方向的边缘，并沿所述第二方向拉伸所述掩模版；所述第二拉伸机构，被配置为夹持所述掩模版沿第二方向的边缘，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。本发明还公开了一种掩模版组件制造方法和掩模版组件。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别是指一种掩模版组件及其制造装置、制造方法。

背景技术

蒸镀工艺是制作有机发光二极管(英文：Organic Light-Emitting Diode；简称：OLED)显示屏的有机发光层的过程中的重要工艺之一。在此工艺过程中，需要使用具有图案的掩模版组件，通过真空蒸镀方式在待蒸镀基板上形成所需的图案。掩模版组件包括掩模版框架和掩模版，在上述工艺过程中的张网工序中，将掩模版张紧后固定到掩模版框架上。然而在张网工序中，掩模版被张紧时，存在掩模版沿不同方向拉伸受力不均的情况，这会造成掩模版产生褶皱，严重影响蒸镀工艺的质量。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例的目的之一在于，提出一种掩模版组件及其制造装置、制造方法，能够在一定程度上有效避免掩模版的褶皱现象，提升蒸镀工艺的质量。

基于上述目的，本发明实施例的第一个方面，提供了一种掩模版组件制造装置，包括第一拉伸机构和第二拉伸机构；所述掩模版组件包括至少一个掩模版；其中，

所述第一拉伸机构，被配置为夹持所述掩模版沿第一方向的边缘，并沿所述第二方向拉伸所述掩模版；

所述第二拉伸机构，被配置为夹持所述掩模版沿第二方向的边缘，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；

其中，所述第一方向与所述第二方向垂直。

可选地，所述第一拉伸机构和所述第二拉伸机构中的至少一个，包括：

夹持单元，被配置为夹持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的边缘；

滑动单元，被配置为带动所述夹持单元沿所述第二方向或所述第一方向运动，进而使所述夹持单元沿所述第二方向或所述第一方向拉伸所述掩模版。

可选地，所述夹持单元包括活动夹爪、夹爪升降部和夹爪底座；所述活动夹爪在所述夹爪升降部的带动下能够相对于所述夹爪底座沿第三方向运动，所述第三方向与所述第一方向和所述第二方向均垂直；所述活动夹爪与所述夹爪底座之间形成容纳并夹持所述掩模版沿所述第一方向或所述第二方向的边缘的空间。

可选地，所述滑动单元包括第一滑轨、基座和第二滑轨；

所述第一滑轨沿所述第一方向或所述第二方向延伸，所述第二滑轨沿所述第二方向或所述第一方向延伸，所述第一滑轨与所述第二滑轨的延伸方向相互垂直；

所述第一滑轨与所述基座相固定，所述夹持单元设置于所述第一滑轨；所述基座设置于所述第二滑轨，并能沿所述第二滑轨滑动。

可选地，所述第一滑轨与所述夹持单元之间的摩擦系数与所述第二滑轨与所述基座之间的摩擦系数不同。

可选地，所述第一拉伸机构的数量为多个，且多个所述第一拉伸机构沿所述第一方向等间隔排列；所述第二拉伸机构的数量为多个，且多个所述第二拉伸机构沿所述第二方向等间隔排列。

本发明实施例的第二个方面，提供了一种掩模版组件制造方法，包括：

利用掩模版组件制造装置的第一拉伸机构夹持所述掩模版组件的掩模版沿第一方向的边缘，并沿第二方向拉伸所述掩模版；

利用掩模版组件制造装置的第二拉伸机构夹持所述掩模版组件的掩模版沿所述第二方向的边缘，并沿所述第一方向拉伸所述掩模版；